日本hrd-thermal热物理显微镜热射流率测量

日本hrd-thermal热物理显微镜热射流率测量 TM3 特点介绍

用于测量薄膜和微区域的热射流率

热物性显微镜是测量热射流率的装置，热射流率是热物性值之一。

这是一种可以测量样品的点、线、面热物理性质的装置。

还可以测量微米级的热物理性质值的分布，这在传统的热物理性质测量设备中被认为是困难的。

这是一个能够对热物理特性进行非接触式高分辨率测量的设备。

检测光斑直径为 3 μm，可实现微小区域的高分辨率热物性测量（点、线、面测量）。

由于可以在不同深度进行测量，因此可以测量从薄膜、多层膜到散装材料的所有物体。

也可以测量基材上的样品。

使用激光的非接触式测量。

可以检测薄膜下的裂纹、空隙和剥落。

日本hrd-thermal热物理显微镜热射流率测量 TM3 规格参数

名称/产品名称热物性显微镜/热显微镜

测量模式热物性分布测量（一维/二维/1点）

测量项目热射流率，（热扩散率），（导热率）

检测光斑直径约3μm

1点测量标准时间10秒

待测薄膜厚度：数百nm至数十μm

重复性Pyrex 和硅的热射流率小于±10%

样本1.試料ホルダー30mm×30mm 厚さ5mm

2.板状試料 30mm×30mm以内で厚さ3mm以内

試料表面の鏡面研磨が必要です。

試料表面にＭｏのスパッタリングが必要です。

使用温度範囲24℃±1℃（装置内蔵温度センサーによる）