日本Anelva宽量程电离真空计控制电源测压力

日本Anelva宽量程电离真空计控制电源测压力 M-431HG 特点介绍

M-431HG是一款微型真空计专用真空计控制电源。

自动化真空设备中的压力测量

溅射等工艺压力的测量和控制

多室系统中的压力测量

通用真空设备压力测量

标准配备外部输入/输出和RS-232C通信功能

输入电压为宽电压

日本Anelva宽量程电离真空计控制电源测压力 M-431HG 规格参数

型号名称M-431HG

压力显示范围0.01×10 -7 ～ 13.2×10 0 Pa  *1 

压力显示数字化、自动测量范围切换 

设定点2点标准装备（带迟滞） 

数模输出对数或复合输出切换（0 至 10 V） 

模拟输出0 至 10 V（APC 兼容输出） 

外部控制功能

（远程操作）输入 灯丝开/关、参数锁定、

灯丝切换、脱气开/关、范围保持 

 输出 设定点 1、2、灯丝开/关状态、

脱气状态、灯丝 1/2 状态 

通讯功能标准配备RS232C（9600、4800、2400、1200bps） 

外形尺寸(mm)/质量104宽×99高×296深 1.2公斤 

能量消耗50 VA AC90 至 240 V 50/60 Hz  *2 

发射电流10μA、100μA、1mA（自动切换或固定） 

排气栅极通电加热方式，3分钟通电定时器 

灯丝开关按键和远程 I/O 操作 

灯丝保护13.3×10 0 Pa时灯丝关闭