日本mitaka非接触式表面粗糙度快速测量装置

日本mitaka非接触式表面粗糙度快速测量装置 PF系列 特点介绍

通过使用可实现指数测量速度提高 50 倍的扫描 AF 功能和高精度自动 XY 工作台，我们实现了数十毫米大范围内的高速测量，测量精度达到亚微米级。

非常适合测量无法使用截面曲线检测到的精密加工零件的翘曲、成型产品的缺陷形状以及摩擦学中磨损和划痕的定量评估。

使用半径为R0.5μm的激光探头和高精度XY平台，我们可以直接测量数十毫米的范围，测量精度为亚微米级。

高速扫描自动对焦功能可实现广域/高速测量。

以前需要 1 小时 20 分钟的测量时间现在只需 6 分钟。

高灵敏度自动对焦传感器可捕获表面的轻微反射光。能够直接精确测量陡坡和台阶。

日本mitaka非接触式表面粗糙度快速测量装置 PF系列 规格参数

一边在测量画面上监视工件一边进行测量

观察并测量。通过简单的操作即可测量高度。

通过载玻片的一键操作，您可以轻松地在用于观察的低倍率镜头和用于测量的高倍率镜头之间切换。

测量概览

PF-60 由用于 Z 轴高度测量的自动对焦 (AF) 显微镜和用于扫描的高精度 XY 平台组成。

使用AF显微镜测量高度方向的位置，通过在XY和平台上移动工件，捕获XYZ坐标值并测量形状。

扫描XY平台

由于系统使用高精度XY平台读取坐标轴，因此可以在可移动范围（60mm x 60mm）内连续测量。由于没有视野范围等测量精度，因此不需要连接测量数据，可以进行大范围的高精度测量。

点聚焦型

用于高度测量的AF显微镜内置的激光沿上图红线所示的光路穿过物镜，在测量工件表面形成图像，作为半径为0.5的激光探头微米。

激光探头从工件表面反射的光再次穿过物镜并在 AF 传感器上形成图像，但当激光探头离开焦点位置时，AF 传感器上的光斑位置也会发生变化。AF传感器实时检测光斑的位置位移，并通过操作AF轴机构定位AF显微镜，使光斑始终以传感器为中心。