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日本hamai洁净规格不锈钢隔膜阀精密抛光

日本hamai洁净规格不锈钢隔膜阀精密抛光 FSC-55LN

标准FS-55LN型号高纯气体隔膜阀,具有高清洁度和清洁规格。结构采用经过验证的55L型,阀体与气体接触部分经过内部精密抛光(1S以下)。通过对包括 kerep 在内的所有气体接触部件使用抛光部件,我们实现了无颗粒操作。

  • 产品型号:FSC-55LN
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-10-10
  • 访  问  量:121
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详细介绍

日本hamai洁净规格不锈钢隔膜阀精密抛光 FSC-55LN 特点介绍


标准FS-55LN型号高纯气体隔膜阀,具有高清洁度和清洁规格。

结构采用经过验证的55L型,阀体与气体接触部分经过内部精密抛光(1S以下)。通过对包括 kerep 在内的所有气体接触部件使用抛光部件,我们实现了无颗粒操作。

最后的清洗是在洁净室中使用超纯水进行的,从组装到检查的所有过程均按照基于高压气体安全法(部分气体除外)的严格制造标准进行。


日本hamai洁净规格不锈钢隔膜阀精密抛光 FSC-55LN 规格参数


・作为高纯度气体(半导体特殊材料气体)在很多情况下使用的FS-55LN的高净化、洁净规格型号。

-本体采用SUS316L不锈钢材料。

・阀体的气体接触部分进行精密的内部研磨(1S以下)。

・所有与气体接触的金属材料均采用 Kelep 等抛光材料制成,以确保无颗粒性能。

- 手柄打开/关闭操作轻便、平稳。容器内压14.7MPa,可通过手动操作关闭。

・压缩气体阀的参考Cv值为0.3。

- 从磷化氢、砷化氢等特殊原料气体到高纯度氦气、高纯度氯气、氨气等液化气体,我们都能处理。

・使用氦检漏仪测量所有泄漏(内部泄漏、外部泄漏)。

- 压盖部分配备防止振动导致松动的机构。

・还有可在加油口内安装节流孔的类型。


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