日本toko-valex超低温用调节阀真空控制液氦 T-8810是用于控制液氦等接近于绝对零度的超低温流体的调节阀。 其特征在于,采用将阀门焊接于真空容器上的结构。该阀门内件采用了用于低温运转的带咬合结构,能够防止热振动以及避免因热变动而导致配管发生偏斜。
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日本toko-valex超低温用调节阀真空控制液氦 T-8810 特点介绍
是用于控制液氦等接近于绝对零度的超低温流体的调节阀。
其特征在于,采用将阀门焊接于真空容器上的结构。
该阀门内件采用了用于低温运转的带咬合结构,能够防止热振动以及避免因热变动而导致配管发生偏斜。
从手机到电脑、汽车,半导体是现代工业产品的主角之一。
在半导体行业中,是以单晶硅制造成套设备及日光发电晶圆制造成套设备、蚀刻及清洗用气体制造成套设备、超纯水设备为核心,运用我公司产品。
尤其是蚀刻及清洁用气体,由于包含毒性流体,所以大量采用了带有膜盒的控制阀。
日本toko-valex超低温用调节阀真空控制液氦 T-8810 规格参数
型号T-8810
型号超低温用调节阀
连接差込溶接・突合せ溶接
公称直径(A)6~50
额定Cv值0.01~48
主体材料SUS316L
阀盖材料SUS316L
延长管材料SUS316L
内件材料SUS316L
垫圈材料锯齿形金属垫圈
流量特性等百分比(范围度 50:1)、线性
快速打开(开闭)
可配备的驱动部分隔膜电机:T-5系列、空气式气缸、电子式:MSP/PSN系列、电动式:CMS系列
选配件氦气泄漏试验、真空套管、热锚
内件形状:PCTFE盘
内件附加处理:钨铬钴合金硬化处理