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日本NPC手持式非接触式面电阻测试仪高精度 sigma-5+ 特点介绍
探头接触样品即自动开始测量
可通过JOG旋钮快速设定测量条件
5种测量范围探头可根据样品电阻率进行更换
可选配P/N型判定量测功能
应用:硅片样品, 化合物半导体, 外延层, 扩散层, 碳化硅, 薄膜材料, 金属膜, ITO, IZO, Low-E玻璃, LED/OLED等材料
日本NPC手持式非接触式面电阻测试仪高精度 sigma-5+ 规格参数
它可以精确测量硅片等的电阻率,还有用于太阳能电池的硅的便携式探头。
这是一款高精度电阻率测量仪器,采用20多年电阻率测量相关的专业知识和技术设计和开发。
可以在半导体基板和导电薄膜基板的研发/检查过程或生产线中高精度地确定和评估薄层电阻值和体积电阻值。
・带有开关功能的智能面板,可进行详细设置
・紧凑的桌面尺寸设计
・从低电阻到高电阻的宽测量范围
・电流极性切换测量可抑制因整流而产生的误差
・每次测量开始时自动调零功能
・自动设定最佳电流的自动量程功能
・试样厚度修正功能
・测量值平均值显示和打印机平均值计算功能
・半导体温度校正功能
・各种温度修正系数输入功能
・带数据打印机接口
・具有数据连接接口
这是一款手动型测量仪器,采用四探针法,可轻松准确地测量太阳能电池用硅片、液晶基板、金属薄膜等的方块电阻或体积电阻。它支持从低电阻到高电阻的各种测量。
1) 用于硅锭制造→晶圆制造工序(成膜等各工序)的产品检查
2) 液晶面板(LCD基板)制造:成膜时的产品检查
3) 用于各种导电材料制造过程中的产品检验
可以使用本公司另外配置的“4点探头"进行测量。