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日本Napson非接触式电阻率计便携式测试仪 EC-80P 特点介绍
只需简单接触笔型探针即可进行测量
可在任意位置进行测量,不会损坏样品
易于操作的手持探针
通过切换测量模式,调整片材电阻和电阻率
可显示在
通过JOG拨盘轻松设定测量条件
电阻测量探头按范围排列
宽敞,支持广泛的范围
(电阻探针:最多2根+PN判定探针
同時接続可能)
探头2~第三条是可选的。
测量光斑直径(探针芯直径):
14mmΦ
日本Napson非接触式电阻率计便携式测试仪 EC-80P 规格参数
芯片样品;
硅载体、化合物(GaN、GaP)、Epi、
扩散层、SiC等
各种薄膜样品;
半导体处理膜、金属膜、ITO膜等
其他
*原则上,如果在测量范围内,则为
也可以用样品进行测量。
[电阻率] 1m 至200Ω.cm
(*所有探头类型的总范围/厚度500um)
[表面电阻] 10m 至3k2/sq
(*所有探头类型的总范围)
*有关每种探头类型的测量范围,请参见下文。
(1)低:0.01~0.5Ω/□(0.001~0.05Ω.cm)
(2)中:0.5~10Ω/□(0.05~0.5Ω.cm)
(3)高:10~1,000Ω/□(0.5~60Ω).cm)
(4) S-高:1,000-3,0002/□(60-200Ω.m)
(5)太阳能晶圆:5-500Ω2/□(0.2-15Ω.cm)
产品尺寸
·机身:W255xD275xH95mm,4kg
·探头部分:20mmΦx80mm