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日商精光nisshooptical光学系统测量深高度 AFM-30 特点介绍
这是一种新型深度和高度测量装置,结合了使用光切割的狭缝图像观察和使用聚光图像的AF(自动对焦)跟踪。
连续跟踪自动对焦驱动可实现快速、易于使用的测量,并具有高重复性。
由于该方法在观察狭缝图像投影的台阶形状的同时进行测量,因此可以实时识别测量屏幕上的高度,从而轻松确定需要测量的区域。
这是一种狭缝图像、点光图像和电子线参考线的中心在测量点处都重合的测量系统,通过检查错位,可以防止测量值错误。
光切割仰角可根据应用场合从标准90°至30°、60°、120°中选择。
日商精光nisshooptical光学系统测量深高度 AFM-30 规格参数
■ 观察方法
光学切割法(利用狭缝光学系统测量深度和高度)
■ 物镜
固定放大倍率:10倍(也可提供5倍和20倍)
■ Z轴驱动方式
使用聚光灯的 AF 连续跟踪方法(可离线手动测量)
■ 投影狭缝
10μm半反射镜型
■ Z轴测量
Z轴数字线性规0.1μm读数
■ 重复性
±1μm以内
■ 使用的光源
半导体激光器(2级)、卤素光源
清晰显示深度、高度和水平差的光学切割方法...自动捕捉代表横截面形状的细缝光、红色激光点和水平差的变化,Z轴功能快速跟随,并以数字方式记录测量值。这是一种新型深度/高度测量装置,结合了显示功能(自动对焦系统)和电子线法参考线,扩大了测量范围,增加了其实用价值。