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HORIBA崛场零漂移高灵敏度微量气体分析仪

HORIBA崛场零漂移高灵敏度微量气体分析仪
微量气体分析仪GA-370是一款高精度气体分析仪,能够以ppb级别持续监测氢气站、氢气精制PSA系统、半导体制造等高纯度工业气体生产设备中的微量杂质气体,为质量管理提供支持。该仪器可同时测量两种成分。

  • 产品型号:GA-370
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2025-10-11
  • 访  问  量:23
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详细介绍

HORIBA崛场零漂移高灵敏度微量气体分析仪
HORIBA崛场零漂移高灵敏度微量气体分析仪

产品特点

  • 超高灵敏度分析:采用交叉调制方式非分散红外吸收法(NDIR),实现长期稳定连续测量,达到零漂移。
  • 高灵敏度:最小检测限为10 ppb,适合需要高精度的现场使用。
  • 纯气体中的微量测量:支持氮气(N₂)、氧气(O₂)、氦气(He)、氩气(Ar)、氢气(H₂)、空气(Air)等代表性气体的微量测量。对于其他基础气体的测量需求,请联系厂家咨询。
  • 简单操作,免维护:无需特殊操作,所有操作包括校准和测量都可以在屏幕上完成。采用HORIBA交叉调制方式非分散红外吸收法,无需光学调整,实现免维护。配备彩色触摸屏,液晶屏可显示图表,提高可视性。

应用示例

  • 空气分离工厂中的杂质气体监控:工业用气体如氧气和氮气通常由空气分离工厂制造。原料空气(Air)经过去除水分(H₂O)和二氧化碳(CO₂)后,利用沸点差异等方法分离制造氮气(N₂)、氩气(Ar)、氧气(O₂)。一些工厂还生产稀有气体等。这些气体的纯度和质量管理中使用了HORIBA的微量气体分析仪。

测量原理

  • 交叉调制式非分散红外吸收法(双光束):利用一定周期切换的电磁阀,使样品气体和参比气体交替流入同一个气体池,获得调制的被测气体浓度信号。这种方法在样品气体和参比气体相同(零点)时不产生调制信号,且无需使用旋转扇区等机械结构,从而获得长期稳定的输出信号。同时,检测器内的电容麦克风膜片左右移动,获得旋转扇区使用时两倍的信号量,提高信噪比。下图显示了交叉调制式非分散红外吸收法(双光束)的噪声水平,非常低且稳定。这样,在高纯度气体中的微量浓度测量中,也实现了零漂移的长期稳定测量和低噪声水平。



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