日本HORIBA崛场自带温控型隔膜式真空计
日本HORIBA崛场自带温控型隔膜式真空计

过程中的压力测量是半导体、平板显示器、太阳能电池板、硬盘、涂层等众多行业中的技术。电容式压力计通过测量称为隔膜的隔离膜两侧压力差所产生的位移量，将其转换为与对电极之间的静电容量来换算压力。与其他压力测量方法相比，电容式压力计具有以下特点。

• 绝对压力测量

• 高精度·高稳定性

• 不依赖气体种类的测量

• 自带温控型最小级别

• 独特的电极结构实现高精度与高稳定性

• 采用SUS316L作为包含隔膜在内的接触气体部件材料

• 可选择非加热、55℃保温、100℃保温三种模式。

• 一键重启Re Zero

• 供电电源支持±15VDC、24VDC

• 符合CE、RoHS标准

VG-200S

电容式压力计 膜片式真空计

过程中的压力测量是半导体、平板显示器、太阳能电池板、硬盘、涂层等众多行业中的技术。电容式压力计通过测量称为隔膜的隔离膜两侧压力差所产生的位移量，将其转换为与对电极之间的静电容量来换算压力。与其他压力测量方法相比，电容式压力计具有以下特点。

• 绝对压力测量

• 高精度·高稳定性

• 不依赖气体种类的测量
   

HORIBA的电容式真空计VG-200S是自温度调节型中最小级别的隔膜式真空计。通过独特的电极结构实现了高精度、高稳定性。