日本HORIBA崛场多气体数字质量流量控制器
日本HORIBA崛场多气体数字质量流量控制器

SEC-Z500X系列

数字式质量流量控制器

搭载多量程/多气体功能、用户可自行更改气体种类和流量范围的数字质量流量控制器畅销型号。
实现了±1.0%S.P.的高精度、全量程1秒以内的快速响应、5SCCM至500SLM的宽量程。通信方式可从数字/模拟、DeviceNet™、EtherCAT®通信中选择。这款质量流量控制器也适用于各种制造流程。

• 多量程/多气体适用
  可在用户端更改气体种类和满量程流量。有助于减少备件等成本。

• 宽范围
  可实现从微小流量（5SCCM F.S.）到大流量（500SLM F.S.）的精确控制

• 高精度
  ±1.0% 设定值（S.P.）保证

• 高速応答
  全范围1秒以内(T98)

• 紧凑尺寸
  面间距离106mm（适用于50SLM以下、1/4VCR型），兼容1.125英寸气体面板。

• 超清洁对应
  采用全不锈钢结构的煤气接口部件，内表面研磨处理为标准配置。
  
  

• SEC-Z500X系列

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• 数字式质量流量控制器

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• 搭载多量程/多气体功能、用户可自行更改气体种类和流量范围的数字质量流量控制器畅销型号。
  实现了±1.0%S.P.的高精度、全量程1秒以内的快速响应、5SCCM至500SLM的宽量程。通信方式可从数字/模拟、DeviceNet™、EtherCAT®通信中选择。这款质量流量控制器也适用于各种制造流程。

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