日本otsuka大塚非破坏性基材镀层测厚仪

日本otsuka大塚非破坏性基材镀层测厚仪
日本otsuka大塚非破坏性基材镀层测厚仪

• 特点：
• 手持式，便于携带至现场
• 测量精度达到0.1μm单位
• 适用于具有形状的样品，可进行非破坏性测量
• 可测量不同基材材质上的镀膜

测量项目

• 膜厚测量范围：1μm～50μm
• 测量重复性：0.01μm
• 测量时间：1秒以下

Smart膜厚仪与其他膜厚仪的比较

• 与桌上型光学膜厚仪相比，Smart膜厚仪可以在“现场"以非破坏式直接量测样品，且可以量测特殊形状样品。
• 与接触式膜厚仪相比，Smart膜厚仪不仅不会破坏样品，也不会因用户不同而产生误差，且测量精度远高于接触式膜厚仪。
• 与涡电流/电磁式膜厚仪相比，Smart膜厚仪不需要制作检量线，且可以量测非金属基材并且得到绝对值。

规格样式

• 量测原理：反射分光法（光干涉法）、非破坏性量测
• 膜厚量测范围：1~50μm（显示上限60μm）
• 重复精度：2.1σ 0.01μm（SiO2膜1μm）
• 量测时间：1秒内
• 量测层数：1层
• 数据输出：附属操作屏幕显示或以USB输出Excel档案
• 量测Spot：Φ1mm以下
• 重量：约1.1kg

使用场景

• 产品开发：量测试作品，携带到合作厂商等，直接在现场量测，提高效率。
• 产线：设定产线参数、提高良率，现场可直接量测，无须准备，量测时间短、效率Up。
• 质量管理：品管效率Up，现场可直接量测高精度量测成品，尽早发现不良品异状。
• After Service：活用可携带的优点，在产品出货后的客户端也可直接带去量测，适用于现场较难量测的立体物、无法切割破坏的样品（例如：窗户的Coating等）。