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日本otsuka大塚非接触式显微分光膜厚仪

日本otsuka大塚非接触式显微分光膜厚仪
显微分光膜厚仪 OPTM series 是一种高精度的膜厚测量设备，适用于各种材料和应用场景。它的特点包括：
高精度测量：能够精确测量膜厚，适用于需要高精度控制的工艺。
非破坏性测量：无需破坏样品即可进行测量，适用于质量控制和研发。
多功能性：适用于多种材料和膜层，包括SiO2、SiN、ITO等。
易于操作：用户界面友好，操作简便。

  • 产品型号：OPTM-A1
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2025-10-13
  • 访  问  量：5
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详细介绍

日本otsuka大塚非接触式显微分光膜厚仪
日本otsuka大塚非接触式显微分光膜厚仪

产品特点

显微分光膜厚仪 OPTM series 是一种高精度的膜厚测量设备，适用于各种材料和应用场景。它的特点包括：
  • 高精度测量：能够精确测量膜厚，适用于需要高精度控制的工艺。
  • 非破坏性测量：无需破坏样品即可进行测量，适用于质量控制和研发。
  • 多功能性：适用于多种材料和膜层，包括SiO2、SiN、ITO等。
  • 易于操作：用户界面友好，操作简便。

技术规格

  • 测量原理：反射分光法（光干涉法）。
  • 膜厚测量范围：根据具体型号可能有所不同，但通常覆盖从纳米到微米级别。
  • 重复精度：通常非常高，以确保测量的一致性和可靠性。
  • 测量时间：快速，通常在几秒内完成。
  • 数据输出：可以通过屏幕显示或通过USB输出到Excel等软件进行进一步分析。

应用案例

  1. 半导体行业：
    • SiO2和SiN膜厚测定：用于半导体工艺中绝缘膜的精确测量。
    • 粗糙基板上的膜厚测量：使用界面系数来补偿基板表面的粗糙度对测量的影响。
  2. FPD（平板显示器）行业：
    • 彩色光阻膜厚测定：确保彩色滤光片薄膜的均匀性。
    • ITO构造解析：测量透明电极材料的膜厚及其倾斜变化。
  3. DLC涂层行业：
    • DLC涂层厚度测量：适用于高硬度、低摩擦系数的类金刚石涂层。



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