日本Tekhne工艺气体干燥露点监测用露点计

日本Tekhne工艺气体干燥露点监测用露点计
日本Tekhne工艺气体干燥露点监测用露点计

TK-100系列是采用静电容量式（阻抗式）技术的露点计，用于测量露点或含水率

采用静电容量式陶瓷传感器，露点测量精度可达±2°C，能够精准检测气体中极其微量的水分含量变化

传感器技术

• 高精度测量：采用静电容量式陶瓷传感器，露点测量精度可达±2°C，能够精准检测气体中极其微量的水分含量变化。
• 快速响应：传感器采用超薄多孔绝缘层（厚度0.5μm以下）和导电金属层设计，响应时间可达秒级，能快速捕捉气体中水分含量的细微波动。
• 温度补偿：结合温度补偿技术，确保输出的线性化和数据的稳定性，即使在温度变化的环境中也能稳定输出数据。
• 传感器互换性：每个传感器的特性都记录在变送器中，传感器具有高度的兼容性和长期可靠性，能够实现传感器的互换。

测量范围

• 宽量程覆盖：露点测量范围为-100°C至+20°C，能够满足半导体制造等对极低湿度环境进行监测的场合。

稳定性与耐受性

• 高稳定性：固态设计使其无需定期更换电解液，维护间隔可延长至1年以上，减少了设备维护工作量和停机时间。
• 耐腐蚀性：传感器通常采用氧化铝或陶瓷镀膜技术，具有出色的耐腐蚀性，能够在H₂、HF等强腐蚀性工艺气体环境中稳定工作。
• 宽温工作范围：能够在-20°C至+50°C的环境温度下正常运行，适应了不同区域的温度变化。

易于集成与应用

• 多种安装方式：支持直接管道安装或旁路采样，适配各种气体管路和环境控制系统。
• 通信协议丰富：支持4-20mA模拟信号输出、RS485数字通信以及Modbus RTU协议等，能够轻松与PLC、SCADA系统以及工厂的MES实现无缝对接。
• 便携性：有便携式型号，如TK-100便携式YN型重量仅为2kg，使用4节AA电池可连续使用约15小时，便于携带和现场测量。