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日本new-cosmos半导体材料吸引式气体检测仪

日本new-cosmos半导体材料吸引式气体检测仪
XPS-7II是日本新宇宙(NEW COSMOS)电机株式会社开发的便携式半导体材料气体检测仪,采用传感器单元更换方式,能够检测多种半导体制造过程中使用的气体。该设备在便携式吸引式气体检测仪中实现了小尺寸,特别适用于NF₃(三氟化氮)等半导体材料气体的泄漏检测。

  • 产品型号:XPS-7II
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2025-11-18
  • 访  问  量:15
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详细介绍

日本new-cosmos半导体材料吸引式气体检测仪
日本new-cosmos半导体材料吸引式气体检测仪

XPS-7II是日本新宇宙(NEW COSMOS)电机株式会社开发的便携式半导体材料气体检测仪,采用传感器单元更换方式,能够检测多种半导体制造过程中使用的气体。该设备在便携式吸引式气体检测仪中实现了小尺寸,特别适用于NF₃(三氟化氮)等半导体材料气体的泄漏检测。

核心特点

传感器单元更换系统
  • 现场可更换:传感器单元可在使用现场轻松更换
  • 多气体检测:一台设备通过更换传感器单元可检测多种气体
  • 免校准设计:传感器单元更换后无需校准,节省维护时间和成本
小尺寸
  • 超紧凑设计:在便携式吸引式气体检测仪中实现尺寸
  • 轻量化:约1.3kg重量,便于携带和操作
  • NF₃检测:作为便携式NF₃检测仪,具有业界紧凑性
智能报警系统
  • 渐进式报警:报警音随气体浓度变化而变化,从缓慢断续音逐渐加快到连续音
  • 高浓度报警:高浓度时发出连续音报警
  • 多重显示:LCD闪烁、红色报警灯闪烁等多重报警方式
国际认证
  • CE标志:符合欧洲CE规格要求

技术规格详解

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项目规格
检测对象半导体材料气体
检测原理定电位电解式
采样方式自动吸引式
检测范围根据规格而定
报警设定值根据规格而定
报警方式蜂鸣器、红色LED闪烁、LCD闪烁显示
响应时间60秒以内(60%响应)
尺寸W62×H150×D128mm(不含突起部分)
重量约1.3kg
工作温度范围0℃~+40℃
连续使用时间12小时以上(NF₃传感器单元使用8小时以上)※碱性干电池、20℃、无报警时

主要应用领域

半导体制造
  • 半导体工厂中半导体材料气体的泄漏检测
  • 化学气相沉积(CVD)工艺气体监测
  • 刻蚀工艺气体检测
  • 离子注入工艺气体监测
典型检测气体
  • NF₃(三氟化氮):主要用于CVD腔室清洗
  • SiH₄(硅烷):用于硅膜沉积
  • PH₃(磷化氢):用于掺杂
  • AsH₃(砷化氢):用于掺杂
  • B₂H₆:用于掺杂
  • WF₆(六氟化钨):用于钨膜沉积


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