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日本new-cosmos半导体材料吸引式气体检测仪XPS-7II是日本新宇宙(NEW COSMOS)电机株式会社开发的便携式半导体材料气体检测仪,采用传感器单元更换方式,能够检测多种半导体制造过程中使用的气体。该设备在便携式吸引式气体检测仪中实现了小尺寸,特别适用于NF₃(三氟化氮)等半导体材料气体的泄漏检测。
产品型号:XPS-7II
厂商性质:经销商
更新时间:2025-11-18
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日本new-cosmos半导体材料吸引式气体检测仪
日本new-cosmos半导体材料吸引式气体检测仪
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 检测对象 | 半导体材料气体 |
| 检测原理 | 定电位电解式 |
| 采样方式 | 自动吸引式 |
| 检测范围 | 根据规格而定 |
| 报警设定值 | 根据规格而定 |
| 报警方式 | 蜂鸣器、红色LED闪烁、LCD闪烁显示 |
| 响应时间 | 60秒以内(60%响应) |
| 尺寸 | W62×H150×D128mm(不含突起部分) |
| 重量 | 约1.3kg |
| 工作温度范围 | 0℃~+40℃ |
| 连续使用时间 | 12小时以上(NF₃传感器单元使用8小时以上)※碱性干电池、20℃、无报警时 |