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日本new-cosmos半导体材料ppm级气体探测器XP-703DIII是日本新宇宙（NEW COSMOS）电机株式会社开发的便携式半导体材料气体探测器，专门用于检测半导体制造过程中使用的各种高毒性气体的微量泄漏。该设备采用热线型半导体式检测原理，具有高的检测灵敏度，能够检测ppm级别的气体泄漏。
产品型号：XP-703DIII厂商性质：经销商更新时间：2025-11-18访 问 量：15
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日本new-cosmos半导体材料ppm级气体探测器
日本new-cosmos半导体材料ppm级气体探测器
| 气体类型 | 检测可能泄漏量 | 检测可能浓度 | 主要用途 |
|---|---|---|---|
| 砷化氢(AsH₃) | 2.53×10⁻⁷ Pa·m³/s | 0.5 ppm | n型掺杂剂 |
| 磷化氢(PH₃) | 1.52×10⁻⁷ Pa·m³/s | 0.3 ppm | n型掺杂剂 |
| (B₂H₆) | 1.01×10⁻⁷ Pa·m³/s | 0.2 ppm | p型掺杂剂 |
| 硅烷(SiH₄) | 2.53×10⁻⁷ Pa·m³/s | 0.5 ppm | 硅膜沉积 |
| 氢气(H₂) | 5.07×10⁻⁷ Pa·m³/s | 1.0 ppm | 载气/还原剂 |
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | XP-703DIII |
| 检测对象气体 | 半导体材料气体（砷化氢、磷化氢、硅烷、氢气等） |
| 采样方式 | 自动吸引式 |
| 检测原理 | 热线型半导体式 |
| 响应时间 | 10秒以内（对3倍检测浓度的气体，灵敏度设定[4]） |
| 显示方式 | 断续音及报警灯闪烁 |
| 电源 | 5号碱性电池2节 |
| 连续使用时间 | 约12小时（常温常湿条件下） |
| 防护等级 | IP22相当（皮套安装时） |
| 工作温湿度 | 0℃～+40℃、85%RH以下（无结露） |
| 尺寸 | W38×H130×D32mm（不含突起） |
| 重量 | 约190g（含电池和皮套） |
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