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韩国PlayTG半导体蒸汽颗粒杂质去除过滤器

韩国PlayTG半导体蒸汽颗粒杂质去除过滤器
VFT系列蒸汽过滤器是专为半导体和显示制造工艺设计的高性能过滤设备，用于去除工艺蒸汽中的颗粒杂质。

产品型号：VFT系列
厂商性质：经销商
更新时间：2025-12-29
访问量：9

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详细介绍

韩国PlayTG半导体蒸汽颗粒杂质去除过滤器
韩国PlayTG半导体蒸汽颗粒杂质去除过滤器

VFT系列蒸汽过滤器是专为半导体和显示制造工艺设计的高性能过滤设备，用于去除工艺蒸汽中的颗粒杂质。

主要特点

1. 高效过滤性能

采用PTFE膜滤芯，具有优异的化学兼容性
可去除0.003μm以上的超微细颗粒
过滤效率高达99.9999999%（9-log reduction）

2. 优异的耐腐蚀性

主体材质采用PFA（全氟烷氧基树脂）
可耐受强酸、强碱和有机溶剂
适用于各种腐蚀性工艺环境

3. 高温高压耐受性

工作温度：200°C
工作压力：7 bar (100 psig)
可适应严苛的工艺条件

4. 低析出设计

超低颗粒析出和金属离子析出
确保工艺纯度和产品质量
符合半导体级纯度要求

技术规格

接口规格

入口/出口连接：3/4"或1"法兰连接
排水口：1/4"接口
可选NPT或VCR螺纹连接

流量范围

3/4"接口：流量50 slpm
1"接口：流量100 slpm

滤芯规格

过滤面积：约1,200 cm²
滤芯长度：10英寸标准长度
可选双层结构增强过滤效果

应用领域

半导体制造工艺
显示面板制造
太阳能光伏制造
高纯度化学品处理
实验室高纯系统

产品优势

长寿命设计：滤芯使用寿命长，降低维护成本
易更换结构：滤芯更换简单，减少停机时间
多种规格：提供多种接口尺寸和材质选择
质量保证：通过ISO 9001质量管理体系认证

这款蒸汽过滤器特别适合对纯度要求高的半导体和显示制造工艺，能够有效保护下游设备并提高产品良率。

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韩国PlayTG半导体蒸汽颗粒杂质去除过滤器

主要特点

1. 高效过滤性能

2. 优异的耐腐蚀性

3. 高温高压耐受性

4. 低析出设计

技术规格

接口规格

流量范围

滤芯规格

应用领域

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