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日本 DAIHEN 400kHz 系列高频电源，功率覆盖 500W~20kW，搭载脉冲输出功能，支持整合器全功能适配，输出稳定，配备强制空冷 + 水冷方式，可应对高功率化工艺需求，适配等离子体工艺场景。日本DAIHEN 带脉冲功能高频电源设备
产品型号：400kHz系列厂商性质：经销商更新时间：2026-05-06访 问 量：21
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日本DAIHEN 带脉冲功能高频电源设备 日本DAIHEN 带脉冲功能高频电源设备
脉冲输出功能：搭载脉冲功能，脉冲频率范围为 1Hz~20kHz（1 级），可适配不同工艺对脉冲波形的需求，提升工艺灵活性。
整合器全功能支持：支持包括整合器在内的完整功能，可与自动匹配器等设备协同工作，优化负载匹配性能，保障输出稳定性。
宽功率覆盖：功率型号覆盖 500W、1kW、3kW、5kW 及更高功率型号，可应对工艺的高功率化需求，适配不同规模的等离子体工艺场景。
稳定输出性能：输出安定度为 ±1% 或 ±3W（取较大值），输出稳定可靠，保障工艺过程的一致性与重复性。
高效冷却设计：采用强制空冷 + 水冷方式，可有效控制设备运行温度，保障设备长时间稳定运行，适配连续生产场景。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 频率 | 400kHz |
| 功率范围 | 500W~20kW（含 500W、1kW、3kW、5kW 等型号） |
| 输出安定度 | ±1% 或 ±3W，取较大值 |
| 脉冲频率 | 1Hz~20kHz（1 级） |
| 冷却方式 | 强制空冷 + 水冷方式 |
| 外形尺寸 | 500W/1kW 型号：幅 215mm，高度 133mm（3U），深度 500mm3kW 型号：幅 420mm，高度 177mm（4U），深度 520mm5kW 型号：深度 600mm |
等离子清洗、等离子刻蚀、等离子沉积等半导体工艺设备配套电源
材料表面改性、镀膜、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等工艺场景
工业等离子体处理设备的电源供应，适配不同功率等级的工艺需求
科研实验室等离子体发生装置的稳定电源，支持脉冲与连续输出模式
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