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春日电机 等离子体发生用脉冲高压电源设备日本春日电机 PHF-2K-P 是等离子体发生用脉冲型高频高压电源，输出电压范围 0~±15kV，支持连续与间歇调制模式，振荡频率 1kHz~30kHz 可调，无需匹配盒即可驱动多种负载，适用于大气压及真空等离子体发生场景。
产品型号：PHF-2K-P厂商性质：经销商更新时间：2026-05-06访 问 量：23
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春日电机 等离子体发生用脉冲高压电源设备 春日电机 等离子体发生用脉冲高压电源设备
快速响应的脉冲输出：输出波形为上升沿和下降沿信号快速的脉冲波，上升 / 下降时间 3 微秒以下，可实现高效的等离子体激发。
宽范围频率与电压调节：振荡频率可在 1kHz~30kHz 范围内调节，输出电压 0~±15kV 可调，可根据负载条件实现最佳输出设置，同时轻松确认等离子体状态。
灵活的工作模式：支持连续与间歇两种调制模式，在间歇频率模式下可抑制对热敏感基材的热损伤，适配不同工艺需求。
无需匹配盒即可工作：无需额外配置匹配盒，即可轻松驱动各种负载产生等离子体，简化系统集成，降低配套成本。
的保护功能：配备过电流跳闸、过功率跳闸保护功能，可有效保障设备与工艺运行的安全性。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | PHF-2K-P |
| 输出电压范围 | 0~±15kV |
| 振荡周波数 | 1kHz~30kHz |
| 间歇振荡周波数 | 0.1kHz~3kHz |
| 输出波形 | 脉冲波 |
| 上升 / 下降时间 | 3 微秒以下 |
| 输出容量 | 2 千瓦 |
| 高压变压器类型 | 绝缘油式 |
| 电源输入 | 3 相 200V 50/60Hz |
| 功耗 | 约 3kVA |
| 保护功能 | 过电流跳闸、过功率跳闸 |
大气压等离子体发生工艺，如表面改性、清洗、活化等处理场景
真空等离子体发生（需满足对应条件），适配半导体、电子制造等行业的等离子体工艺需求
热敏感基材的等离子体处理，间歇模式可有效降低热损伤风险
实验室与工业场景的等离子体设备配套电源，为等离子体发生提供稳定可靠的驱动支持
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