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日本YOSIO 静电吸盘专用高压双路电源设备日本 YOSIO ESC ±1kV 100mA 是专为半导体静电吸盘设计的双路高压电源，支持 ±1kV、±100mA 输出，内置 CC-Link/DeviceNet 网络接口，具备极性反转功能，可实现晶圆平稳剥离，适配半导体工艺设备需求。
产品型号：ESC ±1kV100mA厂商性质：经销商更新时间：2026-05-08访 问 量：13
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日本YOSIO 静电吸盘专用高压双路电源设备 日本YOSIO 静电吸盘专用高压双路电源设备
双路输出，适配静电吸盘需求：提供 DC 0~+1kV / 0~-1kV、0~+100mA / 0~-100mA 的双路输出，可同时为静电吸盘的正负电极供电，满足晶圆吸附与剥离的供电需求。
多种控制方式，适配自动化场景：通过内置 CC-Link（CCL-PS2）或 DeviceNet（DNS-PS2）接口，可轻松构建现场网络；也可通过背面切换开关，选择现场网络或 EXT I/F 远程控制，适配不同自动化系统需求。
极性反转功能，实现晶圆平稳剥离：具备极性反转功能，可改变输出电压极性，实现晶圆的平稳剥离，减少晶圆损伤风险，提升工艺良率。
监测功能，保障设备运行：配备独立的电压 / 电流监测系统，支持 ± 电压、± 电流的模拟输出监测，可通过监测信号确认晶圆的吸附与脱离状态，便于设备维护与工艺优化。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 外形尺寸 | W209 × D500 × H99 mm（不含突出物） |
| 设备质量 | 约 3.8kg |
| 电源输入 | 单相 AC 200V±10% 50/60Hz |
| 输出电压 | DC 0~+1kV / 0~-1kV |
| 输出电流 | 直流 0~+100mA / 0~-100mA |
| 电压监控输出 | 9V~5V~1V / +1kV~0V~-1kV；9V~5V~1V / -1kV~0V~+1kV |
| 电流监控输出 | 9V~5V~1V / +100mA~0A~-100mA；9V~5V~1V / -100mA~0A~+100mA |
| 外部输出控制 | 0~10V / 0V~+1kV；0~10V / 0V~-1kV |
| 远程外部设定 | CC-Link 第 2 局 |
| 纹波含量 | 1% rms 以内 |
| 输出稳定度 | 300V~1kV 时 ±1% 以内 |
半导体制造设备：为静电吸盘系统提供高压供电，适配晶圆吸附与剥离工艺，如刻蚀、沉积等工艺设备。
自动化工业设备：用于需要双路高压输出的静电吸附装置，支持现场网络控制与远程监控。
其他高压直流供电场景：如静电消除、离子注入等需要极性反转功能的设备。
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