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日本 MSA Factory 晶圆加热吸盘设备PH201 系列是 MSA Factory 专为半导体行业设计的晶圆加热吸盘，支持 4/6 英寸晶圆，最高温度 200℃，提供镀金导电型与阳极氧化绝缘型两种表面处理方案，广泛应用于晶圆温度特性测试、探针台加热等场景。
产品型号：PH201 系列厂商性质：经销商更新时间：2026-05-15访 问 量：10
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日本 MSA Factory 晶圆加热吸盘设备 日本 MSA Factory 晶圆加热吸盘设备
通用型吸附设计：标准吸附图案采用中心孔布局，支持 4 英寸、6 英寸及以下尺寸晶圆，无需更换卡盘即可适配不同规格工件。
两种表面处理方案：
镀金导电型（K 系列）：适用于需导电接触的测试场景，最高耐温 200℃。
阳极氧化绝缘型（S 系列）：提供绝缘表面，避免漏电干扰，同样支持 200℃工作温度。
高精度温度控制：搭配 MSA Factory 标准温度控制器（如 C100_SG），一键式接头连接，操作简单，温控精度高。
半导体专用设计：专为晶圆、玻璃基板等电子元件的温度特性测试与电性能测试优化，适配探针台等设备。
| 项目 | 参数详情 |
|---|---|
| 系列型号 | PH201-K-04/06（镀金导电型）、PH201-S-04/06（阳极氧化绝缘型） |
| 最高工作温度 | 200℃ |
| 板材尺寸 | 4 英寸（PH201--04）、6 英寸（PH201--06） |
| 板材材质 | 铝合金 |
| 电源电压 | AC100V |
| 适配控制器 | PCC100G、PCC107、C100_SG |
| 选配件 | 探针安装适配器（支持定制） |
半导体晶圆温度特性测试
探针台加热台应用，支持晶圆电性能测试
玻璃基板、PCB 等电子元件的温度与电特性测试
实验室环境下的材料热学性能研究
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