热门搜索：日本物性测试仪、石川擂溃机、水泥水分计、脱气消泡罐、粉体硬度计、日本食感试验机
深圳秋山工业设备有限公司 全国咨询热线：13823182047
PRODUCT CLASSIFICATION
产品分类
ERUS 系列多孔真空吸盘设备日本 ERUS 系列多孔真空吸盘，采用 SiC、SUS316L、氧化铝陶瓷等材质，支持 10~230μm 孔径定制，可防静电、耐腐蚀，面发光款内置光源，广泛应用于半导体晶圆、薄工件激光加工、光学检测等场景，实现无变形真空吸附。
产品型号：标准规格厂商性质：经销商更新时间：2026-05-25访 问 量：6
立即咨询
联系电话：13823182047
ERUS 系列多孔真空吸盘设备 ERUS 系列多孔真空吸盘设备
无变形均匀吸附
区别于传统孔槽式真空吸盘，ERUS 多孔吸盘通过整个接触面的微孔实现均匀吸附，对晶圆、薄板材等易变形工件可实现无损伤、无变形固定，大幅提升加工与检测精度。
多样化材质与定制化选择
提供 SiC、SUS316L 不锈钢、氧化铝陶瓷等多种多孔材质，适配不同工况需求：
SiC 多孔吸盘：防静电设计，体积电阻率约 10⁷Ω・cm，耐刮擦，适配激光加工等易产生静电的场景，孔径可选 10~230μm。
金属磁性卡盘：采用 SUS316L 材质，支持工件与吸盘间的导通，孔径 100/120μm 可选，适配金属工件的真空吸附。
面发光多孔吸盘：采用氧化铝陶瓷材质，内置光源实现均匀面发光（光量～10 万勒克斯），适配多层晶圆图案检测与工件边缘检查，提升检测精度。
标准规格型号采用氧化铝陶瓷多孔材质，平均孔径 55μm，性价比高，支持快速交货。
坚固耐用的工业级设计
主体采用 SUS 材质，耐腐蚀、抗冲击，多孔材料与主体一体化结构稳定；面发光款尺寸支持 φ200/□200 定制，满足不同尺寸工件的加工需求。
半导体晶圆制造过程中的真空吸附与检测工序
光学元件、精密薄板的激光加工、切割与雕刻
多层晶圆内部图案检测、工件边缘缺陷检查
金属工件的真空固定与导通式加工
防静电、耐腐蚀要求较高的工业精密加工场景
您的位置：
