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日本 HORIBA 堀场 面板安装型电阻率仪器

日本 HORIBA 堀场 面板安装型电阻率仪器日本 HORIBA 堀场 HE-480R 是专为超纯水监测设计的面板安装型电阻率计,采用双电极测量方式,支持高精度温度补偿,可实现 0~100MΩ・cm 宽量程测量,广泛应用于半导体、电子、食品医药等领域的超纯水连续监测。

  • 产品型号:HE-480R
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-05-29
  • 访  问  量:9
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详细介绍

日本 HORIBA 堀场  面板安装型电阻率仪器 日本 HORIBA 堀场  面板安装型电阻率仪器

产品概述
HORIBA HE-480R 面板安装型电阻率计,是一款针对半导体、电子、食品医药等行业超纯水监测场景开发的专用设备。它采用响应迅速的温度传感器,能有效抑制水温变化导致的测量值波动,同时支持超纯水温度特性补偿,确保低浓度药液电阻率测量的稳定性与准确性。
核心功能特点
  • 高精度宽量程测量

    采用双电极测量方式,电极常数 0.01/cm,支持 0~0.200、0~2.00、0~20.00 MΩ・cm 多档测量范围,无温度补偿时可测量至 100.0MΩ・cm,满足超纯水的高电阻率监测需求。

  • 优良的温度补偿技术

    内置响应迅速的温度传感器,可抑制水温急剧变化导致的温度补偿延迟与测量值波动;支持超纯水温度特性补偿,基准温度与温度系数可任意设定,适配不同工艺水的特性。

  • 输出与诊断功能

    配备 4~20mA DC 隔离传输输出,同时提供 2 点报警接点输出;具备传感器诊断、测量范围外、A/D 转换器异常等自诊断功能,方便设备维护与故障排查。

  • 灵活的配置选项

    支持超纯水比电阻值选择(18.23/18.18/18.24MΩ・cm),传输输出保持功能可从 “保持前一值"“保持任意值"“连续" 中自由设置,适配不同工艺控制需求。

型号核心参数
表格
参数项规格详情
型号HE-480R
测量方式电极式(2 电极方式)
电极常数0.01/cm
温度传感器白金抵抗体 1000Ω/0℃
测量范围比抵抗:0~0.200/0~2.00/0~20.00 MΩ・cm(无温度补偿时可达 100.0MΩ・cm);温度:0~100℃
重复性±0.5% 满量程以内(等效输入)
线性度±0.5% 满量程以内(等效输入)
输出方式传输输出:4~20mA DC(输入输出隔离型);接点输出:2 点报警接点
温度补偿超纯水温度特性补偿,基准温度与系数可设定,补偿范围 0~100℃
自诊断功能传感器诊断、测量范围外、A/D 转换器异常等
主要应用场景
  • 半导体制造行业:晶圆制造过程中超纯水系统的电阻率在线监测,确保工艺用水纯度。

  • 电子工业:精密电子元件生产过程中清洗用水的电阻率监控。

  • 食品医药行业:制药用水、食品加工纯水的电阻率连续监测,保障产品质量与工艺合规性。



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