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日本 EKUSA 氟树脂制超纯水在线加热仪器

日本 EKUSA 氟树脂制超纯水在线加热仪器EKUSA EHS 氟树脂超纯水在线加热器,全 PFA 接液结构,无杂质溶出,适配超纯水等腐蚀性药液加热;低温加热结构寿命持久,耐压 0.4MPa,支持远程控制,广泛用于半导体、精细化工高纯流体温控场景。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-06-02
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详细介绍

日本 EKUSA  氟树脂制超纯水在线加热仪器 日本 EKUSA  氟树脂制超纯水在线加热仪器

1. 产品概述

EHS 型是 EKUSA 主打高纯流体加热的在线式加热器,整机接液全部采用 PFA 氟树脂材质,依托氟树脂优异耐蚀、高纯特性,在保全超纯水 / 腐蚀性药液纯度前提下实现精准在线升温,兼顾高纯度、运行可靠性与运维便捷性,是半导体晶圆制程、精细化工实验室高纯回路标配加热设备。

2. 三大核心产品优势

✅ 高纯度制造

  • 流体接触全域采用 PFA 氟树脂材质,无金属析出、无杂质溶出,保障超纯水与高纯药液纯度;

  • 低温型加热芯体设计,元件老化速率低,设备整体使用寿命大幅提升;

  • 耐腐蚀,可直接用于水溶液、各类强腐蚀酸性药液加热工况。

✅ 使用信赖性

  • 常规工况最高承压 0.4MPa,满足纯水管路在线承压运行需求;

  • 全 PFA 隔绝介质与电热部件,杜绝金属离子混入流体;

  • 低温加热结构规避局部高温碳化析出,长期连续运行品质稳定。

✅ 优异维护性

  • 低温加热器近乎使用寿命,常规工况无需更换加热芯,大幅降低备品成本;

  • 机身体积紧凑小巧,管路现场改装、原位安装便捷;

  • 预留通讯控制接口,支持远程温度调控,适配自动化产线集成。

3. 应用领域

  1. 半导体行业:晶圆清洗超纯水升温、湿法蚀刻药液在线恒温;

  2. 精细化工:高纯试剂、有机酸腐蚀性溶液循环加热;

  3. 理化实验室:超纯水循环系统、高纯腐蚀液温控配套。

四、选配拓展(可选配件)

温度传感模块、远程温控控制器、定制变径 PFA 接头、防腐旁路组件
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