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日本 SERA PFA 半导体药液管道加热仪器

日本 SERA PFA 半导体药液管道加热仪器日本 SERA ECE-S 型全 PFA 接液液体加热器，腔体过液部位通体 PFA 氟树脂材质，配套四重安全监测传感器，适配高纯药液、强酸强碱腐蚀性流体在线恒温预热；功率覆盖 3kW~15kW，标准工况 150℃/0.4MPa，另有最高 180℃高温定制款，广泛用于半导体、电子化学品、精细化工流体温控。

产品型号：ECE-S
厂商性质：经销商
更新时间：2026-06-02
访问量：18

联系电话：13823182047

日本 SERA PFA 半导体药液管道加热仪器 日本 SERA PFA 半导体药液管道加热仪器

1、电气与工况参数

电源：三相 200V
标准功率：4.5/6/9/12/15kW，可选特注 3kW
标准使用温度：液体最高 150℃，定制款出液最高 180℃
额定承压：0.4MPa
管路连接：软管卡套对接式

2、材质配置

过液腔体：PFA 全氟树脂（无金属接触药液）
设备主体壳体：SUS304 不锈钢 / PVC 两种外壳可选

3、四重安全防护传感器（标配）

空烧检测传感器：断液空流时停机保护
液体超温检测传感器：出料药液超温断电
发热体超温传感器：电热芯过热保护
漏液检测传感器：腔体渗漏报警停机

四、产品核心优势

✅ 全 PFA 接液无金属污染：药液全程只接触 PFA，无金属析出、不产生微粒，适配半导体高纯药剂；

✅ 低表面温度加热：发热元件不直接接触药液，壁面温升温和，避免热敏药液高温劣化变质；

✅ 耐受流量突变：可应对液体启停、流速骤变的工况波动，运行稳定性高；

✅ 超长使用寿命：内置发热体设计寿命可达 10 年以上，故障率低；

✅ 紧凑型立式结构：箱体小巧占地少，可直接串联在药液管路中；

✅ 耐蚀抗冲击：PFA + 不锈钢壳体，耐酸碱腐蚀、抗机械磕碰；

✅ 可选配套温控器：搭配原厂专用控制器，精准控温、远程联动。

五、应用行业

半导体晶圆制程药液加温、光刻配套药剂预热、精细化工强酸强碱溶液加热、锂电电解液温控、医药高纯试剂在线升温、氟系化工原料恒温。

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日本 SERA PFA 半导体药液管道加热仪器

1、电气与工况参数

2、材质配置

3、四重安全防护传感器（标配）

四、产品核心优势

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