日本 Luceo 半导体晶圆近红外应力检测设备

日本 Luceo 半导体晶圆近红外应力检测设备 日本 Luceo 半导体晶圆近红外应力检测设备

厂商产品基础信息

品牌：日本 Luceo（株式会社ルケオ）

型号：LSM-9001NIR

产品名称：近红外全自动应力检测仪

平台分类：一级 - 光学仪器及设备；二级 - 偏光应力检测仪器；三级 - 晶圆树脂应力测试仪

核心规格参数

表格

项目参数

检测原理近红外 NIR 回转检光子法

延迟评估范围0~150nm

有效测量区域50×50mm

样品最大高度160mm

整机外形尺寸W300×D353×H540mm

整机重量22kg

光源高亮度 LED，长寿命低功耗

供电规格AC100-240V，DC24V 1.6A

配套系统主机、PC、连接线、机盖，适配 Win10 64 位专业版

五大核心优势

全自动无人工干预测量

放置样品一键启动，内置摄像头自动定位识别，消除人为操作判断带来的测量误差，大幅提升检测一致性。

可测有色不透光样品

采用近红外光路，突破传统可见光应力仪局限，可检测有色亚克力、有色玻璃、半导体晶圆、含色素树脂，同步检测残余应力与微裂纹。

完整专业分析软件套件

支持应力二维分布图、截面曲线、三维立体可视化，可导出 CSV 测量数据与原始图像，便于批量数据归档与报告输出。

长寿命低维护光源

高亮度 LED 近红外光源，使用寿命长，减少光源更换频次，降低长期实验室运维成本。

适配半导体与光学零部件

专为 50mm 以内硅片、光学基板、注塑树脂件设计，数分钟完成全域面分布扫描，支持现场试样演示评估。

适用实验 / 工业场景

半导体行业：硅晶圆、光学晶片全域残余应力面分布检测

光学材料：有色玻璃、滤光片、光学基板应力检测

塑胶行业：有色亚克力、树脂注塑件内应力、裂纹筛查

精密光学零部件来料品质管控、出厂应力抽检