日本 坂本 SEM 2 轴半导体设备平面校准仪器

日本 坂本 SEM 2 轴半导体设备平面校准仪器 日本 坂本 SEM 2 轴半导体设备平面校准仪器

1. 产品概述

SELN-001B 是坂本电气推出分体有线式双轴高精度数字水平仪，由小型测量传感探头与独立显示控制器有线连接；复刻传统圆气泡水平仪可视化界面，数字量化 X/Y 双轴倾角，解决传统气泡水准仪视线受限、人工读数误差大、温漂不稳定缺陷；探头轻薄小巧，可伸入狭小夹层、晶圆载台、机床底座等窄间隙工位，广泛用于半导体设备、加工中心、汽车工装精密平面调平。

2. 完整规格参数

传感器探头部分

表格

参数规格

测量线性范围X±0.3°、Y±0.3°

测量分辨率0.0002°

零点重复精度≤±0.001°

响应速度≤50ms

工作温度-10℃ ~ +50℃

显示控制器本体

表格

参数规格

核心芯片32 位微控制器

AD 采集14 位高精度模数转换

AD 理论分解能力0.000025°

屏幕显示最小单位0.0001°

合格判定阈值自定义0.0001° 起步可调

量程多档切换0.01° / 0.001° / 0.0001° 三档

超量程提示倾角＞0.3° 自动 OVER 告警

3. 八大核心产品优势

超高测量精度

X/Y 双轴基础精度 ±0.001deg（17.5μ/m），微米级平面度检测，满足精密设备校准需求。

分体有线结构，窄空间适配

探头轻薄微型化，线缆分离设计，可伸入上下间距狭窄的设备夹层、晶圆腔内部，传统气泡水准仪无法观测的位置均可测量。

可视化气泡仿真界面

显示屏模拟圆形气泡水准器图形，红绿双圈自定义合格区间，气泡红点落入绿圈显示 Good，超差直接 NG 告警，直观易懂。

消除人工读数误差

全数字化采集输出，角度、毫米每米单位一键切换，无肉眼估读偏差，数据可追溯。

稳定抗温漂设计

对比传统玻璃气泡水准器，受温度变化影响极小，长时间连续测量数值稳定。

实时同步监测

控制器与探头有线实时传输，可远距离手持显示器，一边观测数值一边调整设备支撑脚。

多档位量程自由切换

0.01°/0.001°/0.0001° 三档精度量程，兼顾粗调与微米级精调工序。

轻量化探头

探头自重低，适配晶圆载台、精密治具等轻量化工件表面，不会压伤精密加工面。

4. 核心应用行业

半导体制造设备：晶圆搬运腔、曝光机、检测平台、真空腔体平面度校准

工业数控装备：龙门加工中心、磨床、精密机床底座水平校正

汽车制造：工装夹具、检测治具、车身焊接平台倾角标定

5. 同品牌产品区分

SELN-001B：有线分体式，适合狭小封闭腔体、远距离观测场景；另有无线款同系列数字水平仪，适合无布线流水线工位。