日本 坂本 SEM 无线精密双轴数字水平仪

日本 坂本 SEM 无线精密双轴数字水平仪 日本 坂本 SEM 无线精密双轴数字水平仪

1. 产品概述

SELN-121BM 是坂本电气面向半导体行业打造无线分体式 2 轴精密数字水平仪，传感探头与手持显示器无线通讯，无需线缆束缚；复刻传统圆气泡可视化界面，X/Y 双轴同步采集平面倾角，解决传统气泡水准仪视线遮挡、双人配合作业、布线受限痛点；小型轻量化探头可安装机械臂、设备内腔、夹层窄缝，是晶圆设备、半导体制造平台专用高精度调平设备。

2. 核心规格参数

传感探头性能

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参数技术指标

线性测量范围X±0.3°、Y±0.3°

零点重复精度≤±0.001°

响应速度≤50ms

测量分辨率0.0001°

AD 采集位数14 位高精度模数转换

AD 理论分解能力0.000025°

显示器功能参数

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项目规格

主控芯片32 位高速微控制器

显示单位0.0001°，deg/mm/m 单位一键切换

合格阈值自定义0.0001° 起步可调

多档量程切换0.01° / 0.001° / 0.0001° 三档

超量程告警倾角＞0.3° 屏幕 OVER 提示

环境适配

工作温度：-10℃ ~ +50℃，适配半导体车间恒温工况；抗温漂设计，长时间连续测量数值稳定。

3. 四大核心产品优势

无线分体结构，摆脱线缆限制

传感器与显示器无线传输，远距离手持显示屏实时读数，狭窄夹层、设备内部、机械臂末端无需布线，单人即可完成调平，省去双人配合工时。

超高重复精度，半导体精密场景专用

零点重复精度 ±0.001°，微米级平面度检测，满足晶圆载台、曝光机、检测设备等高精密平台校准标准。

可视化气泡仿真界面，上手零门槛

屏幕模拟传统圆形气泡水准器，红绿双圈自定义合格区间；红点落入绿圈显示 Good，超差自动 NG 提示，无需专业培训即可判读。

小型轻量化探头，狭小空间适配

探头体积小巧，可固定在机械臂、设备内腔、高低落差夹层等常规水平仪无法放置的位置，适配各类受限安装工位。

4. 适用行业场景

半导体制造装备：晶圆搬运腔体、曝光设备、检测平台、真空腔体、机械臂底座平面度与倾角校准。

5. 同系列产品横向区分

SELN-121BM：无线分体款，无布线需求，适合半导体流水线、机械臂动态检测；

SELN-001B：有线分体款，低延迟稳定传输，适合密闭腔体长期固定监测；

SEC-S011F-V：垂直测量倾斜仪，大角度 ±45°，面向汽车、工程机械立面倾角检测。