日本 SEM 坂本 工业半导体精密数显水平仪

日本 SEM 坂本 工业半导体精密数显水平仪 日本 SEM 坂本 工业半导体精密数显水平仪

1. 产品概述

SELN-011B 是坂本电机面向半导体设备、精密机床、汽车工装开发的超高精度分体式两轴数字水平仪，分体有线结构，微型传感探头可伸入上下间距狭窄、视线无法观测的夹层、设备内部；复刻传统圆气泡水平仪可视化界面，全数字化量化倾角，消除人工目视读数误差；搭载 SD 卡本地存储、USB 实时数据输出功能，量程多档切换，新手也可快速完成高精度设备调平。

2. 六大核心产品优势

超高测量精度，微米级水准

X/Y 双轴零点重复精度≤±0.001°（17.5μ/m），最小显示分辨率 0.0001°，满足半导体、精密加工超平基准校准需求。

分体有线设计，狭小空间无障碍测量

传感器与显示主机分离，长线传输，夹层、设备内部、高低受限狭窄工位均可伸入测量，传统气泡水平仪无法观测的点位轻松检测。

可视化气泡模拟屏幕，上手零门槛

屏幕图形复刻圆形气泡水准器，红绿双圈设定合格区间，红点落入绿圈显示 Good，超出显示 NG，直观判断水平状态，无需换算。

双轴同步调节，大幅缩短调平工时

X、Y 两轴数值同步实时显示，可同时完成双向水平校正，相比单轴仪器大幅缩减设备调试工时。

统一数字化基准，消除人为读数偏差

全数值量化输出，不存在传统气泡仪因人观测角度、温度漂移产生的读数差异，统一车间作业判定标准。

双路数据存储输出，便于溯源记录

支持 SD 卡本地保存角度数据；USB 接口实时向外输出测量数据，可连接电脑实时采集、归档测试记录。

3. 全套规格参数

传感器性能

表格

参数项SELN-011B 参数

线性量程X/Y ±0.3°

零点重复精度≤±0.001°

测量分辨率0.0002°，显示 0.0001°

响应速度≤50ms

工作温度-10℃ ~ +50℃

主机系统

主控：32 位微控制器，14 位 A/D 采集

A/D 分解精度：0.000025°

量程三档切换：0.01° / 0.001° / 0.0001°

合格阈值自定义范围：0.0001° 起设

超量程提示：＞0.3° 触发 OVER 告警

接口与存储

本地存储：SD 卡数据文件保存

实时输出：USB 串口数据同步输出至电脑

分体有线连接，传感器与显示主机分离布线

4. 工作原理

微型 MEMS 双轴传感探头采集平面 X/Y 倾斜偏移量，经高精度 14 位 AD 转换、内部算法降噪后，有线传输至显示主机；屏幕同步展示图形化气泡模拟界面 + 精确角度数值，同时将测量数据缓存至机身，可 SD 卡导出或 USB 实时上传电脑，实现精密设备水平量化校准与数据留存。

5. 典型应用行业

半导体制造装备：晶圆搬运平台、光刻机、检测设备高精度基准调平

精密工业装备：龙门加工中心、三坐标、精密机床工作台水平校准

汽车研发制造：工装夹具、检测台、整车装配平台水平调试

精密实验室设备：光学平台、测试治具、高精度仪器基准标定