日本 YAMABUN 非接触干涉透明多薄膜测厚仪

日本 YAMABUN 非接触干涉透明多薄膜测厚仪 日本 YAMABUN 非接触干涉透明多薄膜测厚仪

1. 产品概述

TOF-S 是 YAMABUN TOF 系列光学非接触旗舰机型，区别于电容式、接触式测厚方案，依托分光干涉反射原理，专门面向透明光滑薄膜、多层光学涂层开发。

无需上下对射光路，仅单侧光纤探头即可完成厚度检测，全程无触碰、无压力，不会损伤超薄软质光学膜；除台式离线实验室版本外，设备结构支持改造为产线在线连续监测，广泛应用光学膜、显示材料、功能性透明涂层研发与精密质检。

2. 详细规格参数

表格

参数项目技术指标

测量厚度范围薄物模式：1～50 μm

厚物模式：10～150 μm

单次测量长度50～5000 mm

测量间距≥1 mm

最小显示分辨率0.001 μm

测量光斑直径φ0.6 mm

探头测量间隙约 30 mm

供电电源AC100V 50/60Hz

使用环境温度5～45℃（单次测量内温度波动≤1℃）

环境湿度35～80% RH（无凝露）

测量原理分光干涉式、单侧反射型非接触测量

3. 产品核心亮点

✅ 0.001μm 超高分辨率，光学薄膜精密检测

测量重复性可达 ±0.01μm 以内，满足电子光学薄膜纳米级厚度管控需求。

✅ 单侧反射式测量，安装灵活性强

只需薄膜上方布置光纤探头，不需要底部反射基板，简化样品放置，长条试样连续扫描便捷。

✅ 非接触无损检测，杜绝样品压痕、划伤

无物理探头接触，极软光学薄膜、易损伤涂层可安心测试。

✅ 抗温度漂移性能优异

相比电容式测厚，环境温度小幅波动对测量结果影响更小，长期检测稳定性更佳。

✅ 双量程模式切换

薄物 / 厚物两种测量档位，覆盖 1~150μm 主流透明薄膜规格。

✅ 机型支持定制拓展

标准台式离线机型用于实验室研发检验，同时可改造为生产线在线连续监测设备。

✅ 可识别多层透明薄膜结构

适用于复合涂层、多层光学基材分层厚度解析。

4. 典型适用样品

各类透明光学平滑薄膜、显示行业基材、AR/AG 光学涂层；

多层复合透明高分子薄膜、功能性光学离型膜；

电子、光电行业超薄透明涂膜、硬化涂层试样；

光学材料实验室新品开发、成型工艺离线抽检。