日本 本田电子 半导体双通道超声波流量计

日本 本田电子 半导体双通道超声波流量计 日本 本田电子 半导体双通道超声波流量计

1、九大核心产品优势✅

1. 时差式超声测量，管道无阻挡，压损趋近于零上下游双探头采集超声波传播时间差换算流速流量，管路内部无叶轮、节流构件，不会堵塞浆液、粘稠药液，全程几乎无压力损失，适配洁净流体与含微量颗粒抛光液工况。

2. DSP 数字信号处理，气泡干扰下依旧测量稳定内置专属降噪运算芯片，可抵消液体内部微小气泡造成的声波畸变，对比传统模拟电路机型，起泡工况数值无大幅跳变，化工循环管路测量可靠性大幅提升。

3. 双通道独立采集，一台主机两路流量监测单台控制器可接驳两组不同尺寸 U/Z 型传感管路，同时监测两条工艺管道流量，可混用不同管径、不同介质流体，节省设备采购与柜内安装空间。

4. PFA 氟塑料全接液，强腐蚀药液通用所有接触流体部件均采用高纯 PFA 材质，耐绝大多数酸碱、有机溶剂腐蚀；K 型高温款最高耐温 200℃，04 规格型号耐温上限 180℃，适配高温化学工艺流体。

5. 可拆卸分离线缆，设备集成布线便捷探头连接线可插拔拆卸，整机预装嵌入设备柜体后再接线施工难度更低；线缆标配 5m，可选 7m 长度，适配不同安装距离需求。

6. 双版本机身可选：导轨经济型 / 大屏可视款

• HLF810：DIN 导轨安装，无本地显示屏，紧凑型设计适配控制柜密集排布；

• HLF820：搭载 VFD 荧光显示管，2 行 16 字符高亮可视，昏暗工况读数清晰，面板按键现场参数调试无需上位机。

7. 丰富电气输出，对接工控 PLC 系统①双路 4-20mA 模拟电流输出；②两路 NPN 集电极开路数字输出；③RS485 Modbus RTU 通讯，最多组网 32 台仪表；④数字触点输入可实现清零、零点校准外部触发。

8. PC 端上位机软件远程监控溯源配套 HLF800 Monitor 管理软件，电脑端可实时读取瞬时流量、累计流量曲线，批量修改仪表参数，实现全厂流体管网远程集中管控。

9. 宽流速量程覆盖，高低流速均可精准计量流速测量区间跨度大，从微量蠕动输送到大流量循环管路都可适配，满足半导体工艺纯水输送、药剂配比全流程流量管控需求。

2、HLF810 与 HLF820 整机参数对照表

表格

3、探头选型编码与规格说明

探头型号编码：HLFS01 - 管径 - 形状 - 温度类型

1. 第一段：管路管径 04~16mm 可选；

2. 第二段：管路结构 U=U 型管路 / Z=Z 型管路；

3. 第三段：温度规格

• 空白标准款：常规常温工况

• K 高温款：最高耐温 180℃（04 管径）/200℃通用款⚠️ 限制：PFA 材质不可用于介质测量

4、主流应用场景

1. 半导体晶圆制造行业：超纯水、去离子水循环管路流量计量，CMP 化学机械抛光浆液流量监测

2. 精细制药行业：各类腐蚀性药液、试剂配比输送流量闭环控制

3. 化工新材料行业：高温有机溶剂、酸碱腐蚀流体微小管道流量检测

5、安装使用注意事项

1. 管路需保证液体满管流动，避免半管空气干扰超声波传播；

2. 探头安装避开泵体出口、阀门湍流剧烈区域，直管段前后预留足够缓冲长度；

3. 强震动设备场景需做好减震固定，防止探头接线松动；

4. 多台仪表 RS485 组网时，末端需接入终端电阻保障通讯稳定。