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日本 Thermo 理工 一体式高真空排气装置HC80V 是日本萨莫理工一体式高真空排气装置,整机集成分子泵与前级泵,可从大气压连续抽气至 10⁻⁵Pa 超高真空;整机一键启停操作便捷,体积紧凑占地小,配备 NW40/ICF114 两种法兰接口,广泛用于实验室科研、半导体工艺、精密器件封装等高真空场景,运行稳定易维护。
产品型号:HC80V
厂商性质:经销商
更新时间:2026-07-31
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日本 Thermo 理工 一体式高真空排气装置 日本 Thermo 理工 一体式高真空排气装置
| 项目 | 参数详情 |
|---|---|
| 产品型号 | HC80V |
| 整机外形尺寸 | 300×300×338mm |
| 极限可达真空度 | 大气压~10⁻⁵ Pa |
| 进气连接法兰规格 | NW40 标准 KF 接口 / ICF114 超高真空法兰(二选一) |
| 产品类型 | 一体式集成高真空排气机组(涡轮分子泵机组) |
| 操作方式 | 面板按键一键全自动运行 |
实验室科研:材料表面分析、扫描电镜配套腔体、薄膜沉积实验、理化样品真处理;
精密器件加工:元器件真空封装、检漏测试、微小零部件脱气处理;
理化检测设备:各类分析仪器腔体真空环境构建;
小型真空腔体日常维持高真空环境。