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日本 Thermo 理工 一体式高真空排气装置

日本 Thermo 理工 一体式高真空排气装置HC80V 是日本萨莫理工一体式高真空排气装置,整机集成分子泵与前级泵,可从大气压连续抽气至 10⁻⁵Pa 超高真空;整机一键启停操作便捷,体积紧凑占地小,配备 NW40/ICF114 两种法兰接口,广泛用于实验室科研、半导体工艺、精密器件封装等高真空场景,运行稳定易维护。

  • 产品型号:HC80V
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-07-31
  • 访  问  量:5
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详细介绍

日本 Thermo 理工 一体式高真空排气装置 日本 Thermo 理工 一体式高真空排气装置

1、产品概述与核心性能

HC80V 一体式高真空排气装置,由日本株式会社サーモ理工研发生产,属于集成式涡轮分子泵真空机组,整合前级干泵 + 涡轮分子泵、驱动控制系统、触控操作面板于一体,摒弃分体式真空泵繁琐搭配。
核心优势支持全程连续抽气作业:可直接从标准大气压不间断抽取至高真空 10⁻⁵Pa 区间,无需分段启停过渡;整机搭载智能电控系统,全流程一键傻瓜式操作,新手也可快速上手,自带运行状态监测、故障自检功能,抽气速率平稳、真空度维持精度高,整机结构密封优异,漏气率极低,适配严苛洁净真空需求;机身紧凑型箱体设计,摆放灵活,方便实验室台面、设备腔体旁就近安装布置。

2、完整规格参数表

表格
项目参数详情
产品型号HC80V
整机外形尺寸300×300×338mm
极限可达真空度大气压~10⁻⁵ Pa
进气连接法兰规格NW40 标准 KF 接口 / ICF114 超高真空法兰(二选一)
产品类型一体式集成高真空排气机组(涡轮分子泵机组)
操作方式面板按键一键全自动运行

3、型号释义

HC:High Chamber 高腔体真空系列代号;
80:系列规格划分,适配中小型真空腔体抽气需求;
V:Vacuum 一体化集成真空机组版本;
整机型号 HC80V,无衍生子型号,法兰规格下单时按需选定 NW40 或 ICF114。

4、主要用途

  1. 实验室科研:材料表面分析、扫描电镜配套腔体、薄膜沉积实验、理化样品真处理;

  2. 精密器件加工:元器件真空封装、检漏测试、微小零部件脱气处理;

  3. 理化检测设备:各类分析仪器腔体真空环境构建;

  4. 小型真空腔体日常维持高真空环境。

5、适用行业

半导体微电子行业、高校科研实验室、材料科学研究院、光学精密仪器行业、真空镀膜行业、理化检测机构、航空航天小件零部件测试领域。
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