日本 Science Edge 频域热反射显微镜

日本 Science Edge 频域热反射显微镜 日本 Science Edge 频域热反射显微镜

（一）产品概述

InFocus k FDTR 隶属于 Science Edge 热物性分析系列，是一款突破性显微型激光扫描 FDTR（频域热反射）显微镜。设备基于热反射率原理，利用泵浦激光周期性加热样品、探测激光拾取温度相位响应，解析材料各项热物性；创新性搭载振镜扫描系统，激光光斑可逼近衍射极限，实现三维纳米尺度热分析，是微纳结构、超薄薄膜材料导热性能表征科研仪器，还可拓展选配拉曼光谱模块，一站式完成材料热学 + 结晶应力综合表征。

（二）核心性能优势

超高聚焦光斑，微区精准测量

标配 20 倍物镜光斑：泵浦光 2.14μm、探测光 1.19μm；切换 50/100 倍尼康物镜可收缩至亚微米级光斑，可单独测量微米级散热填料微小颗粒、超薄薄膜单点热导率。

三维热扩散模型，导热各向异性评估

内置圆柱坐标系三维热扩散拟合算法，可拆分拟合面内、垂直面双向热导率参数，精准评估层状、取向性材料导热各向异性；支持测量前灵敏度预判功能，提前优化测试条件，提升数据可靠性。

双扫描架构，多样化测量模式

同时搭载振镜扫描（仅探测光）+ 电动载物台两套扫描机构：

光束偏移 FDTR 测试：错位泵浦 / 探测光，高灵敏度检测面内热导率；

载物台全域扫描：完成热导率二维映射成像，直观展示样品导热分布；整套光路保证激光始终垂直入射样品表面，规避角度误差。

宽泛测试频率范围

泵浦 CW 激光最高 50MHz 高频加热样品，宽频相位延迟采集，适配从薄膜、界面、块体各类材料热参数解析，可同步获取界面热阻、热容、热扩散系数多项参数。

（三）核心参数表

表格

参数项目技术指标

设备原理频域热反射法（FDTR）

物镜配置标配 20×(NA0.45)；可选配 50×、100× 尼康 TU Plan Fluor 物镜

最小光斑尺寸亚微米级（100 倍物镜下）

20 倍物镜光斑泵浦光 2.14μm（1/e²）；探测光 1.19μm（1/e²）

激光调制频率最高 50MHz

扫描方式振镜扫描 + 电动位移台扫描双模式

分析模型三维圆柱坐标系热扩散模型

可测参数面内 / 垂直热导率、界面热阻、热容、热扩散系数

拓展选配高分辨率拉曼光谱模块（结晶度、残余应力检测）

核心功能导热各向异性评估、微颗粒导热测试、热导率映射成像

（四）产品型号

整机型号：InFocus k FDTR（整机标准化型号，可按需选配物镜组、拉曼模块、自动温控样品台等配件）

（五）适用测试用途

超薄半导体薄膜、晶圆介质层导热系数定量测试；

石墨、氮化硼、取向高分子等各向异性材料双向导热性能评估；

导热填料（氧化铝、石墨烯、碳纳米管微颗粒）单颗粒热导率测量；

复合材料界面热阻、多层膜堆叠结构界面传热性能表征；

热管理材料导热分布可视化映射扫描；

搭配拉曼模块：同步检测材料结晶度、制备残余应力关联热性能分析。

（六）适配应用行业

半导体微电子行业：芯片封装材料、超薄栅介质、散热基板、TSV 通孔界面热性能研发；

新材料科研院所：高校材料学院、中科院各院所热物理实验室前沿基础热学研究；

高分子复合材料行业：导热硅胶、散热垫片、填充型导热塑料配方开发；

新能源行业：锂电池极片、固态电解质、导热界面材料热物性检测；

光学 / 陶瓷行业：功能陶瓷、红外光学薄膜、精密陶瓷基底传热特性表征。