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产品分类
日本 Micro-tec 静电吸盘专用丝网印刷设备Micro-tec ESC-500 是静电吸盘专用丝网印刷机，适配 12 英寸制程，搭载双向离模机构。刮刀速度、下压量、工作台吸附力均可配方化设定，可选内置加热模块实现晶圆温控。专为半导体静电卡盘生产工艺打造，设备稳定性强，满足半导体精密印刷生产需求。
产品型号：ESC-500厂商性质：经销商更新时间：2026-08-07访 问 量：11
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日本 Micro-tec 静电吸盘专用丝网印刷设备 日本 Micro-tec 静电吸盘专用丝网印刷设备
Micro-tec ESC-500 静电吸盘专用丝网印刷机
1、产品型号
ESC-500，日本 Micro-tec（マイクロ・テック）原厂半导体专用丝印设备。
2、核心性能
设备针对静电卡盘（ESC）生产工艺开发，内置电极结构，通过施加正负电压产生静电力固定工件；可按需选配内置加热机构，实现晶圆温度精准控制。搭载双向离模结构，印刷参数支持配方存储调用，工艺一致性高，适配半导体洁净车间生产环境。
3、规格参数
适用印刷范围：12inch
配置：双向离模机构
刮刀速度：连续可调，支持配方保存
刮刀下压量：可调，程序配方设定
工作台吸附力：可调，参数配方管理
选配模块：晶圆温控加热机构
4、产品用途
用于半导体静电吸盘（ESC）制造环节精密丝网印刷，在绝缘基体、电极基材上完成浆料图形印刷，是静电卡盘生产关键工艺设备。
5、适用行业
半导体晶圆设备零部件制造、静电卡盘生产、微电子精密陶瓷器件加工、半导体装备配套零部件生产领域。
6、产品优势
整机洁净型不锈钢机身，适配无尘车间；全参数程序化管理，工艺可复现；专为静电卡盘工艺定制，解决超薄基材精密印刷难题，是日本 Micro-tec 面向半导体装备市场的专用印刷机型。
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