日本 IFG 全自动晶圆用磁性评价装置

日本 IFG 全自动晶圆用磁性评价装置 日本 IFG 全自动晶圆用磁性评价装置

1. 产品概述 & 性能

IF-BH1K68 是 IFG 推出的全自动晶圆磁性评价装置，专门针对晶圆基底磁性薄膜开展磁性特性测量。设备集成机械臂自动晶圆上下料机构，晶圆盒装载完成后，自动完成取放、定位、测量、数据存储、晶圆回库全流程自动化作业。

设备创新整合三大核心组件：可检测 1nm 超薄薄膜的高灵敏度拾取器、四点支撑刀刃式应力施加机构、双轴亥姆霍兹偏置磁场线圈，不仅可测试常规单层磁性膜，还能够完成自旋阀膜等复杂多层磁性薄膜材料综合评估，支持同步施加应力与偏置磁场条件下开展磁性表征。

2. 核心型号

型号：IF-BH1K68

3. 详细参数

适配晶圆：6 英寸、8 英寸，支持定制小尺寸晶圆；晶圆厚度 0.5~2.0mm；支持玻璃、硅、Altic 基底晶圆

磁系统：双轴亥姆霍兹线圈；最大直流偏置磁场 DC 250 Oe / 交流偏置磁场 AC 100 Oe

应力加载：四点支持刀刃方式，最大荷重 500N

整机尺寸

主体：宽 180× 深 95× 高 200cm

受电单元：宽 60× 深 90× 高 180cm

电容器组：W90×D80×H180cm

冷却器：W40×D85×H90cm

机械臂单元：W60×D95×H190cm

PC 控制单元：W60×D90×H120cm

4. 可测试评估项目

饱和磁感应强度 Bs、残留磁束密度 Br、保持力 Hc、各向异性磁场 Hk、外部磁界 Hex、磁歪定数 λ、分散 α90/△90、易轴方向。

5. 产品用途

用于晶圆表面制备磁性薄膜材料的磁特性全自动表征，可研究应力、外加磁场耦合作用下薄膜磁性变化规律。

支持单层磁性膜、自旋阀薄膜、磁性功能薄膜等材料样品检测。

6. 使用行业

半导体材料行业、磁性材料研发企业、磁电子器件实验室、高校微电子 / 凝聚态物理实验室、存储芯片研发机构、传感器磁性薄膜研发单位。