日本 Ayumi 超高真空全金属角阀

日本 Ayumi 超高真空全金属角阀 日本 Ayumi 超高真空全金属角阀

产品性能

ML‑03M 为手动式全金属超高真空角阀，摒弃橡胶密封件，采用 OFC 无氧铜垫片密封边缘结构，实现极低泄漏；所需紧固扭矩小，支持 350℃高温烘烤，可稳定工作于 10⁻⁸Pa 及以下超高真空环境；阀门密封磁盘可单独更换，便于维护，成型 SUS304 波纹管保障阀杆动作，全开电导率 8.5L/sec，流通性能优异。

参数表

表格

项目ML‑03M 参数

使用压力大气压～10⁻⁸Pa 以下

使用温度范围0‑300℃，烘烤 350℃

泄漏量6.7×10⁻¹¹Pa・m³/sec 以下

电导率（全开）8.5ℓ/sec

密封扭矩5‑7N·m

连接法兰ICF34

扭矩扳手方头尺寸6.35mm

本体材质SUS304

密封材料OFC 无氧铜

波纹管SUS304 成型波纹管

型号说明

型号：ML‑03M，Ayumi ML 系列手动全金属超高真空角阀，03 代表适配 ICF34 法兰规格，M 代表手动操作结构。

产品用途

用于科研实验室、半导体设备、镀膜设备、真空腔体等超高真空管路，实现气路通断隔离；适合需要高温烘烤、无有机析出、对漏率要求严苛的真空系统。

使用说明

安装：两端 ICF34 法兰对接真空管路，按照 5‑7N・m 扭矩紧固法兰螺栓，保证密封效果。

操作：旋转顶部手轮完成阀门开、闭操作，禁止超力拧动。

烘烤：设备整体烘烤温度不超过 350℃，烘烤前确认阀门处于对应工作状态。

维护：密封磁盘损耗后可直接更换磁盘配件，无需整体更换阀门；波纹管禁止外力磕碰。

适用工况：真空环境使用，禁止用于高压承压工况。

适用行业

半导体制造、科研院所实验室、真空镀膜、材料热处理、分析仪器、航天真空模拟设备。