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产品分类
日本 HIT INTERNATIONAL 真直度形状测量机 本款 HSS 系列真直度形状测量机，专为研磨板、抛光板做平面轮廓与真直度检测，测量长度覆盖 650‑3000mm。采用接触式线性测头，测量精度可达 ±5μm，重复精度 ±3μm，电脑直观输出截面图像。适用于半导体行业研磨抛光盘形状管控，检测稳定高效，快速完成数据采集与处理。
产品型号：HSS‑650厂商性质：经销商更新时间：2026-09-12访 问 量：15
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日本 HIT INTERNATIONAL 真直度形状测量机 日本 HIT INTERNATIONAL 真直度形状测量机
HSS‑650：最大测量长度 650mm
HSS‑1400：最大测量长度 1400mm，支持主轴补偿
HSS‑2200：最大测量长度 2200mm，支持主轴补偿
HSS‑3000：最大测量长度 3000mm，支持主轴补偿
注：HSS‑1400 及以上型号具备主轴补偿，实现 ±5μm 高精度。
| 项目 | 规格参数 |
|---|---|
| 测量对象 | 研磨板、抛光板（Lapping Plate & Polishing Plate） |
| 测量条件 | 室温 20±1℃，湿度 60±5% RH 以内 |
| 测量精度 | ±5μm/2200mm（基准规补偿法） |
| 重复测量精度 | ±3μm/2200mm |
| 标准测量点数 | 1000 点，最大 5000 点 |
| 传感器移动速度 | 30mm / 秒 |
| 数据处理时间 | ≤90 秒（自动设置模式） |
| 测量方式 | 接触式线性测头 |
| 测头测量范围 | 0‑10mm |
| 传感器接触压力 | 150gf |
| 传感器分辨率 | 1μm |
| 可测长度范围 | 650‑3000mm |
设备放置于恒温恒湿环境（20±1℃，湿度≤65%），将待测研磨 / 抛光板平稳放置工作台；
架设测量主机，连接电脑，安装配套软件；
根据工件尺寸选择对应型号程序，设定测量点数；
启动自动测量，测头沿工件表面匀速扫描采集数据；
设备自动完成运算，软件生成截面轮廓图像，导出测量报告；
测量结束抬起测头，做好测头防尘保护，避免磕碰损伤测头。
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