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日本 FUJI SEIKI 伺服电机驱动真空蝶阀富士精工 MBV‑SDⅡ‑M4‑ARJ 电机驱动蝶阀，搭载三菱伺服电机，支持多段位置记忆，实现阀门开度多级调节。使用寿命可达 100 万次循环，泄漏量小，适配 20A‑100A 口径，适用于真空腔体恒压维持、排气电导率可变调节，可搭配 PLC、上位机实现自动化压力控制。
产品型号：MBV-ISO80SDII-M4-ARJ厂商性质：经销商更新时间：2026-09-14访 问 量：11
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日本 FUJI SEIKI 伺服电机驱动真空蝶阀 日本 FUJI SEIKI 伺服电机驱动真空蝶阀
MBV‑CF40SDⅡ‑M4‑ARJ
MBV‑CF63SDⅡ‑M4‑ARJ
MBV‑CF100SDⅡ‑M4‑ARJ
商品代码分别对应：10840□□、10842□□、10844□□；最小规格从 20A (NW25) 起步，可提供带阀体 O 型圈全封闭密封版本。
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 法兰形式 | JIS、ISO、CF、NW |
| 口径 | 20A‑100A |
| 工作压力域 | \(10^\sim10^\ \mathrm\) |
| 泄漏量 | \(1\times10^\mathrm{Pa\cdot m^/s}\)以下 |
| 电源规格 | 主电源 AC200V，控制 DC24V |
| 控制方式 | AC 伺服方式 |
| 接气材质 | SUS304 |
| 轴封 | 拜顿 O 型圈两段密封 |
| 寿命 | 100 万次循环 |
真空腔体内恒压维持；
阀门前后压差可变调节；
排气电导率可变控制；
半导体、镀膜设备、科研真空装置自动化节流调压；
搭配 FPC 控制器，实现完整自动压力闭环控制。
安装：按产品尺寸图，选用对应规格 CF/NW 法兰完成管路对接，伺服放大器独立固定，预留散热空间；
接线：主电源 AC200V、DC24V 控制电源接入伺服放大器，连接 PLC 上位控制信号；
参数设定：通过伺服放大器本体或配套软件预设最多 13 组阀门开度位置；
运行：PLC 下发指令，阀门切换至预设开度，实现节流调压；选配控制器可开启自动压力闭环；
维护：定期检查轴封 O 型圈，真空系统维护时断电停机，禁止带压拆卸阀体。
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