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日本 FUJI SEIKI 富士精工 电磁高真空角阀

日本 FUJI SEIKI 富士精工 电磁高真空角阀富士精工 FUJI SEIKI ELV、EBV 系列电磁真空阀,采用真空先簧复位结构,阀体为 SUS304 不锈钢材质,泄漏量低。口径 φ25mm,支持 AC100V/200V、DC24V 供电,适配不同真空区间。广泛用于各类真空设备管路通断控制,接口形式丰富,安装维护便捷,满足工业真空工况使用需求。

  • 产品型号:EBV-1NW25
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-09-14
  • 访  问  量:13
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详细介绍

日本 FUJI SEIKI 富士精工 电磁高真空角阀 日本 FUJI SEIKI 富士精工 电磁高真空角阀

产品性能

本系列为真空先导式电磁真空角阀,弹簧复位结构,阀体本体采用 SUS304 不锈钢;本体泄漏量≤1×10⁻⁸ Pa・m³/s,功耗仅 4W。ELV 系列适用大气压~10⁻¹Pa;EBV 系列可达到大气压~10⁻⁴Pa 高真空区间。开闭响应稳定,密封件为丁腈橡胶 O 型圈,抗疲劳,适配常规非腐蚀性气体真空管路。

型号说明

  • ELV‑2:基础法兰型电磁真空阀

  • ELV‑2F:法兰安装型

  • ELV‑2NW25:KF‑NW25 快卸接口

  • EBV‑1:高真空基础法兰型

  • EBV‑1F:高真空法兰安装型

  • EBV‑1NW25:高真空 KF‑NW25 快卸接口

    全系列通径统一 φ25mm。

参数表

表格
项目参数
型号ELV‑2/2F/2NW25;EBV‑1/1F/1NW25
通径φ25mm
动作方式真空先导、弹簧复位
通导能力 L/s6.8 /1.3×10
本体泄漏率1×10⁻⁸ Pa・m³/s 以下
使用真空范围ELV:大气压~10⁻¹Pa;EBV:大气压~10⁻⁴Pa
阀体材质SUS304 不锈钢
密封件丁腈橡胶 O 型圈
额定电压AC100V、AC200V、DC24V 可选
消耗功率4W

用途

用于真空镀膜、实验室真空腔体、半导体设备、真空热处理、检漏设备等,实现真空管路的电气通断控制;ELV 适合普通粗中真空,EBV 用于需要高真空的工艺系统。接口可选法兰、KF 快拆,适配多种真空管路搭建。

使用说明

  1. 安装:阀体为角式结构,按图纸管路方向安装,法兰 / KF 接口密封圈放置到位,均匀锁紧紧固件。

  2. 供电:核对电磁阀线圈电压,严禁超压供电;线圈功耗 4W,做好接线防护。

  3. 工况:介质洁净非腐蚀性气体,禁止带颗粒粉尘介质,必要时前端加装过滤器。

  4. 维护:定期检查 O 型圈密封,出现泄漏及时更换;不可敲击阀体。

  5. 断电状态下阀门依靠弹簧复位,切断气源 / 真确认阀门状态。


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