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日本 NAPSON 半导体非接触式电阻率测试仪NAPSON EC‑80P 为非接触式电阻率测试仪，无需接触样品即可完成方块电阻、体电阻率检测。支持 5 种探头选型，适配半导体、ITO 薄膜、太阳能电池片等试样。设备自动测量，操作简便，可更换探头适配不同量程，适合实验室与产线样品检测，样品直径大于 20mm 且表面平整即可测量。
产品型号：EC‑80P厂商性质：经销商更新时间：2026-10-16访 问 量：5
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日本 NAPSON 半导体非接触式电阻率测试仪 日本 NAPSON 半导体非接触式电阻率测试仪
本机采用非接触式测量原理，探头接触样品即启动自动测量；配置 3 种测量模式，可检测晶圆电阻率、体电阻率、片电阻率；搭载 JOG 旋钮便捷设置测量条件；内置 5 种量程模型，可根据被测样品电阻范围更换对应电阻率探头；整机便携，主机重量仅 4kg，适配多种平整样品检测。
主机型号：EC‑80P，衍生型号 EC‑80P‑PN
探头分 5 种规格：低、中、高、S‑高、太阳能晶圆专用探头
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 体电阻率 [R] | 1m‑200Ω·cm |
| 方块电阻 [RS] | 10m‑3000Ω/sq |
| 低探头量程 | 0.01‑0.5Ω/□（0.001‑0.05Ω·cm） |
| 中探头量程 | 0.5‑10Ω/□（0.05‑0.5Ω·cm） |
| 高探头量程 | 10‑1000Ω/□（0.5‑60Ω·cm） |
| S‑高探头量程 | 1000‑3000Ω/□（60‑200Ω·cm） |
| 太阳能晶圆探头 | 5‑500Ω/□（0.2‑15Ω·cm） |
| 主机外形 | 宽 255× 深 275× 高 95mm，4kg |
| 探头尺寸 | 直径 20mm×80mm |
| 样品要求 | 任意形状，直径＞20mm，测量面平整 |
1. 半导体材料：硅、多晶硅、碳化硅晶圆；化合物半导体 GaAs Epi、GaN Epi、InP 等；2. 太阳能电池相关材料检测；3. 导电薄膜：金属膜、ITO 导电膜；4. 新型功能材料：石墨烯、DLC、碳纳米管、银纳米线等新材料试样。
根据待测样品电阻区间，选配对应规格探头，连接主机；
将待测样品放置工作台，保证被测面平整，样品直径大于 20mm；
开机，通过 JOG 旋钮设置测量条件，选定对应测量模式；
将探头放置于样品被测表面，设备自动启动测量；
读取屏幕显示方块电阻、电阻率数值，完成检测；
不同样品更换对应探头，设备关机后妥善收纳探头，避免磕碰探头端面。
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