日本 NPS 半导体四探针电阻率测试仪

日本 NPS 半导体四探针电阻率测试仪 日本 NPS 半导体四探针电阻率测试仪

1、产品性能

1. 上位完兼容，原有探针治具、测量程序无需大幅修改，直接迁移使用；2. 热漂移、接触不良抑制能力强，连续测试数据重复性高，耐久性能优异；3. 宽带低插入损耗，降低高频测量噪声，还原器件真实特性；4. 符合全球环境法规，研发、产线场景均可长期稳定使用；5. 内置自动零点调整、自动量程、样品厚度补偿、半导体温度补偿，支持系数自定义输入；6. 配备数据打印接口、数据通讯接口，支持测量均值计算输出。

2、型号

• 主机型号：Σ‑∞（Sigma‑8 西格玛八）

• 可选配件：RG‑5 样品台、四探针探针组件

###3、参数表

表格

###4、用途1. 硅锭、硅片、太阳能电池硅片的研发与产线检测；2.LCD 液晶基板成膜工艺检测；3. 金属导电薄膜、导电基板片电阻、体电阻测试；4. 半导体基板、导电薄膜基板的实验室研发、来料检测、生产线质量管控。

###5、使用说明1. 设备通电开机，确认主机与选配样品台、四探针探头正确连接；2. 放置待测样品，设置样品厚度、温度补偿系数等参数；3. 执行自动零点校准，设备自动匹配测量电流量程；4. 探针接触样品，启动测试，读取电阻 / 电阻率数值，可输出均值数据；5. 测试完成后可打印或导出测量数据；6. 连续测试注意定期检查探针状态，规避接触不良带来的数据漂移。

###6、适用行业半导体行业、光伏新能源、液晶面板制造、新材料研发、导电材料加工。