日本e-yamato调节器高纯气体用调压阀分析器

日本e-yamato调节器高纯气体用调压阀分析器 SR-3LL/SR-3.5LL 特点介绍

高纯度气体（纯度99.999~99.99999%）和腐蚀性气体的供应。

SR-1HLVI具有特殊结构，即使从调节器出口抽真空，二次室也能获得1X104torr以上的高真空。

即使进行抽真空，气体也不会从入口侧（一次侧）流动。

可作为经济产业大臣认证品生产。在高压气体设备中使用时，请选择合格品。

也可制作流动方向体、左侧入口（左高压）型。

日本e-yamato调节器高纯气体用调压阀分析器 SR-3LL/SR-3.5LL 规格参数

SR-3LL

SR-3.5LL

一次侧压力

(MPa)

0.4~2

0.5~2

二次側使用压力

(MPa)

0.1~0.6

0.1~0.6

使用温度

（摄氏度）

-10~40（股计温度:-10~7摄氏度）

1/4

3/8

外部响应量（Pam/sec）

螺纹接合:1.01x10-以下焊接合:1.02x10-以下

接气主

本体

要部材質

SUS316

SUS316L

材質記号

隔膜

SUS316

诺科脱明

PTFE

是P.476

其他

SUS316.SUS304.PTFE

过滤器粗糙度

200墨西哥（SR-3.5LL的出入口为焊接隧道时，未内置过滤器。)

量

(kg)

1.4

2.3

標準流量

8/mininor)

640(P1=2MPa.Pe=0.6MPa)

1280(Pl=2MPa.P2=0.6MPa)

最大流

2/mininor Ne)

800(P)=2MPa.P2=0.6MPa)

1600(P1=2MPa.Pz=0.6MPa)