日本进口YUTAKA高压标准U20系列压力控制器

日本进口YUTAKA高压标准U20系列压力控制器 U20SS/U20SH/U20SV 特点介绍

超高纯度半导体制造工艺用精密压力调节器

功能高压

焊接规范金属垫片配件调节阀结构针型兼容气体7种特殊高压气体

腐蚀性气体有毒气体

以外的气体标准流量～60NL/分钟

日本进口YUTAKA高压标准U20系列压力控制器 U20SS/U20SH/U20SV 规格参数

入口压力 14.8MPa以下 

调节压力 Max.0.99MPa（范围规格：0～0.5MPa、0～0.99MPa） 

气源压力波动 入口压力：每0.1MPa，调节压力变化量0.00086MPa 

承受压力 一次侧22.2MPa 

工作温度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

大量的 约1.4公斤 

类型U20SSU20SHU20SVU20VH

气体接触部分 

主体SUS316L SUS316L

真空双熔材料 

隔膜哈氏合金®C-22 

阀座PCTFE（Daiflon®） 

调节阀杆SUS316L 哈氏合金®

C-22 SUS316L 哈氏合金®

C-22 

压力表连接密封垫片你 

非气体接触部分 

调节器盖SUS304 

调节器盖ABS树脂 

它用于多种气体，包括半导体工厂设施的气瓶柜、连接装置、阀箱以及设备制造商的集成单元。
该产品具有优良的气密性，非常适合特殊高压气体和有毒、腐蚀性输送。