日本进口e-yamato超高纯度减压阀压力调节器

日本进口e-yamato超高纯度减压阀压力调节器 SRQ-1HL/SRQ-1HLP 特点介绍

高辅度气体（纯度99.999~99.99999%的供应。

消除了滑动部，抑制了颗粒的产生。采用波形隔膜，实现压力高灵敏度。

外部硅片采用奥甲基硅片。

可作为经济产业大臣认证品生产。在高压气体设备中使用时，请选择合格品。

可在环境温度150°C下使用的压力调节器。

调压螺钉型和双螺杆型产品线齐全。

进出口VCR。2术一卜。恒温室使用。

注意:不能用于腐蚀性气体。

日本进口e-yamato超高纯度减压阀压力调节器 SRQ-1HL/SRQ-1HLP 规格参数

SRQ-1HL（高温型）

SRQ-1HLP（高温型）

一次侧压力（MPa）

1~20

1~20

二次侧使用压力（MPa）

0.1~0.99

控制压力（MPa）

0.1~0.99

使用温度（度C）

-20~150（设计温度:-20~150摄氏度）径

1/4

外部响应量（Pam/sec）

螺纹接缝:1.01x10-8以下焊接统:1.01x-10-以下

接气主本体

SUS316L

要部材質科脱明

材餐記号隔膜

SUS316L井材

PI

PI

是P.476其他

SUS316L

菲尔克萨斯40μm

量(kg)

1.1

1.1

標凖流量

2/mininer.Ne值）

160(P=15MPa.Pz=0.99MPa)

160(P)=3MPa.Pe=0.99MPa)

最大流量

2/minior.N情）

200(P1=15MPa.P2=0.99MPa)

200(P)=3MPa.Pe=0.99MPa)