日本日酸TANAKA低压用高纯度气体压力调整器

日本日酸TANAKA低压用高纯度气体压力调整器 TANAKA日酸 TORR-L 特点介绍

●TORR系列是凭借长期的业绩获得高度信赖的“半导体气体用压力调整器的代名词"的压力调整器。

●组装全部在0.3μm级1000的洁净室进行。

●包括泄漏测试在内的全部出货检验。

●还可制作电解研磨规格品。（接触气体金属部表面粗糙度Ra0.25μm）

●TORR-L系列是可控制二次侧微压的调整器。

日本日酸TANAKA低压用高纯度气体压力调整器 TANAKA日酸 TORR-L 规格参数

●使用材质接触气体部主体:隔膜:压力计:其他接触气体部:非接触气体部盖:调压手柄:SUS316Lsus316、氟树脂C3604ABS树脂、C3604

●性能入口侧最高使用压:出口侧最高使用压:最大流量:使用温度:重量:内置过滤器过滤过度:出入口口径:外部泄漏量:1.5MPa0.06MPa4 0L/min（nor）（P1=0.1MPa、P2=0.06MPa、N2GAS）-5～40°C5.2kg过滤器未装入，请另行设置。3/8"1.3×10-8Pa m3/sec以下

●还可制作电解研磨规格品。（接触气体金属部表面粗糙度Ra0.25μm）

●TORR-L系列是可控制二次侧微压的调整器。