日本日酸TANAKA低压用高纯度气体压力调整器 TANAKA日酸 TORR-L●TORR系列是凭借长期的业绩获得高度信赖的“半导体气体用压力调整器的代名词"的压力调整器。
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日本日酸TANAKA低压用高纯度气体压力调整器 TANAKA日酸 TORR-L 特点介绍
●TORR系列是凭借长期的业绩获得高度信赖的“半导体气体用压力调整器的代名词"的压力调整器。
●组装全部在0.3μm级1000的洁净室进行。
●包括泄漏测试在内的全部出货检验。
●还可制作电解研磨规格品。(接触气体金属部表面粗糙度Ra0.25μm)
●TORR-L系列是可控制二次侧微压的调整器。
日本日酸TANAKA低压用高纯度气体压力调整器 TANAKA日酸 TORR-L 规格参数
●使用材质接触气体部主体:隔膜:压力计:其他接触气体部:非接触气体部盖:调压手柄:SUS316Lsus316、氟树脂C3604ABS树脂、C3604
●性能入口侧最高使用压:出口侧最高使用压:最大流量:使用温度:重量:内置过滤器过滤过度:出入口口径:外部泄漏量:1.5MPa0.06MPa4 0L/min(nor)(P1=0.1MPa、P2=0.06MPa、N2GAS)-5~40°C5.2kg过滤器未装入,请另行设置。3/8"1.3×10-8Pa m3/sec以下
●还可制作电解研磨规格品。(接触气体金属部表面粗糙度Ra0.25μm)
●TORR-L系列是可控制二次侧微压的调整器。