日本日酸TANAKA压力计线过滤器高纯度气体用

日本日酸TANAKA压力计线过滤器高纯度气体用 TANAKA日酸 AT-V14M-50S-0.3MPaC-LTG3S 特点介绍

可应对从兆位到千兆位时代的超高纯度气体用外围设备。

在干净的环境下，严格的质量管理下进行生产。

包括He检定测试在内的全部实施出货检查。

还可制作电解研磨规格品。(Ra0.25μm)

S-TORR.TORR调节器中也采用的高可靠性压力计。

日本日酸TANAKA压力计线过滤器高纯度气体用 TANAKA日酸 AT-V14M-50S-0.3MPaC-LTG3S 规格参数

低压管路过滤器一（TLF硅片）在元件中加入特氟隆膜

使用时，由于滚筒直径的均匀化，即使是小颗粒，也能高效捕捉。

低压管路过滤器一（TLF硅片）标准对内表面进行研磨处理，其效率更高

可以清洁度供给气体。

高压管路过滤器1（SHF硅片）也可对应内表面研磨。

高压管路过滤器一（SHF硅片也可制作大型特订品。

包括直线测试在内的所有出货检验均已实施。

小型·重量轻，可减小配管间距。

●接气部:布尔登管:株L316SUS合金Mo-Cr-Ni/L316SUS非接气部:外壳:其他304SUSP1070A、304S

●（7505B JIS（级相当于1.6JIS3m、Pa10-11×1.3（UNF规格9/16-18（秒以下/3m、Pa10-9×1.3（规格1/4NPT（秒以下/度C40~-5:外部泄漏量:使用