日本佳能anelva高抽速组合泵真空泵泵控制器

日本佳能anelva高抽速组合泵真空泵泵控制器 特点介绍

通过将钛升华泵和三极管离子泵（贵族泵）组合在一起，组合泵利用离子泵轻松产生清洁超高真空的能力，并以低廉的价格获得高抽速。

抽速大

每抽速1L/s的价格（包括控制装置的价格）约为离子泵的1/2至1/3。

与相同抽速的离子泵相比，轻便紧凑

，体积和重量仅为1/5至1/10。因此，它可以很容易地安装和从排气系统中拆卸，并且可以在很小的空间内实现高排气速度。

气相沉积设备、电子显微镜、质谱仪、真空炉、各种分析设备、实验设备、排气设备以及其他释放大量气体的超高真空系统。

日本佳能anelva高抽速组合泵真空泵泵控制器 规格参数

排气速度/排气流量参考图1 

工作压力范围10 -1 Pa 至 10 -9 Pa 

烘烤温度最高250℃ 

大量的约15公斤 

进气法兰φ152ICF法兰 

内容积4.5升 

适用控制装置922-9119 升华泵控制器和 PIC-052NP 20/60 L/s Noble 泵控制器 

排气速度/排气流量见图2 

工作压力范围10 -1 Pa 至 10 -9 Pa 

烘烤温度最高250℃ 

大量的约25公斤 

进气法兰φ203ICF法兰 

内容积约7.5升 

适用控制装置922-9119 升华泵控制器和 PIC-052NP 20/60 L/s Noble 泵控制器