日本 ULVAC 爱发科 DA15D 100V 膜片干式真空泵 无油真空输送泵简介

一、产品概述

日本 ULVAC 爱发科作为全球真空品牌，深耕真空技术研发数十年，其产品广泛覆盖半导体、精密制造、理化实验等诸多领域。DA15D 100V 膜片干式真空泵，是爱发科面向中小流量真空应用场景推出的一款无油便携式真空泵，依托成熟膜片式抽气结构，摒弃传统油泵必须使用真空油的工作模式，在提供稳定真空负压的同时，杜绝油蒸汽污染、喷油返油等问题，是洁净真空工况的优选设备。

在很多实验室与轻工业场景中，真空设备往往需要应对易挥发样品、洁净样品的处理。老式油旋片真空泵在运行时，内部真空油会持续挥发，油分子会随着气流返流进入真空腔体，污染样品，破坏实验环境，不仅会造成样品报废，部分精密光学器件、半导体试样一旦沾染油污，会产生不可逆损坏，设备维护成本居高不下。而 ULVAC DA15D 干式膜片真空泵，采用全干式结构设计，泵腔内部无润滑油参与气体输送，抽取出的气体不会携带油雾，输出洁净无油真空，适配对清洁度有硬性要求的应用场景。该机型采用 100V 电压规格，为日系实验室设备配套标准电压版本，体积紧凑、运行震动低，可直接放置在实验台面上使用，不需要复杂的基建安装，即接即用，在国内科研院所、化工、材料实验室中应用广泛。

很多用户在选型时，常常混淆干式泵之间的差异，旋片干式泵、涡旋干式泵体积偏大，成本高昂，更适合大工业产线；而膜片式干式真空泵定位中小抽速场景，体积小巧，维护简单。DA15D 正是瞄准这一细分市场打造，兼顾便携性、洁净度与长期运行稳定性，既能间歇式抽真空，也支持长时间连续工作，很好平衡了设备成本与使用性能，成为小型真空体系里经典的进口膜片泵型号。

二、工作原理

ULVAC DA15D 真空泵核心依靠膜片往复运动实现气体抽吸，属于容积式泵的一种。泵体内部配置弹性膜片组件，电机带动偏心轮机构，将电机旋转运动转化成膜片的上下往复形变运动。当膜片向上抬起，泵腔容积扩大，腔内压力降低，进气阀片打开，外部腔体中的气体被吸入泵腔；当膜片向下压缩，泵腔容积缩小，气体压力升高，进气阀关闭，排气阀打开，气体从排气口排出，不断重复这个循环，持续抽除密闭容器内气体，实现容器内部真空度持续提升。

整套气体输送过程在干燥的泵腔内部完成，运动部件之间不需要油液润滑，膜片本身具备自润滑特性，不需要加注任何真空油。进气口、出气口配置单向阀片，保障气体单向流动，停机之后可以在一定程度上抑制气体返流，减少真空腔体压力回升速度。膜片材质是这一类泵的核心，爱发科选用耐老化特种合成橡胶膜片，兼顾弹性、耐疲劳性与耐化学腐蚀能力，针对普通空气、水蒸气、部分弱腐蚀性挥发气体，都拥有良好耐受能力，在常规实验室环境下，拥有较长使用寿命。

和油式真空泵相比，膜片泵的极限真空能力虽然不是最高，但它最大的优势在于洁净抽气。油泵依靠油液密封间隙来获取更高真空，但代价就是油污染；DA15D 依靠膜片形变实现密封，没有油介质，输出真空不含油雾，这个特性在样品前处理领域尤为关键。同时往复式膜片结构运行平稳，相比小型活塞泵，振动幅度更小，不会带动台面样品抖动，不会干扰放置在真空腔旁的精密仪器。

三、硬件结构设计

ULVAC DA15D 整体采用一体化紧凑式壳体设计，外壳使用高强度阻燃工程塑料，兼顾轻量化与防护能力，整机体积小巧，不会占用大量实验台空间，方便搬运、移位。整机主要由驱动电机、偏心传动组件、膜片泵头、进气阀排气阀组件、进气接口、排气接口、散热结构组成。

驱动电机是整机动力核心，适配 100V 供电，日系原装电机设计，低发热、低噪音，电机外部带有散热风道，长时间连续运转时，能够把电机产生热量及时散出，避免过热停机。电机通过偏心轮传动结构连接泵头膜片，传动结构做动平衡优化，降低运行振动，不需要额外加装厚重减震底座，放置在普通实验台面即可稳定工作。

泵头是真空泵核心单元，采用分体式结构，膜片、阀片都属于可单独更换的耗材，不需要更换整台泵。进气口标准管路接头，方便直接连接真空干燥器、过滤装置、真空腔体；排气口可根据需求选配排气管，将抽出气体导向室外或者废液吸收装置。泵头外壳预留散热筋，辅助泵腔散热，避免长时间工作造成泵头升温，保护膜片材料，延缓老化。

设备没有油仓、油位观察窗、放油口等油泵结构，整机结构大幅简化，减少容易出现故障的部件，降低故障概率。机身没有复杂控制面板，开机即启动，操作逻辑简单，操作人员无需长时间培训，简单学习后就可以独立操作。设备底部设置防滑减震脚垫，进一步削弱运行振动，减少噪音传递，在安静的实验室环境中，不会产生刺耳噪声，不干扰周边其他实验。

四、行业应用场景

4.1 实验室真空过滤

化学、生物、环境检测实验室大量使用真空抽滤装置，对水样、土壤浸出液、微生物培养液进行过滤分离。如果使用油式真空泵，一旦滤瓶内液体倒吸，水汽会进入油泵，快速乳化真空油，损坏泵体，同时油雾返流污染滤液样品。DA15D 无油设计，就算少量水汽吸入泵内，只要搭配前置缓冲瓶，就可以安全完成抽滤作业，不会出现油污染样品的问题，是理化实验室抽滤经典配套泵型。

4.2 真空干燥、样品脱气

材料、高分子实验室常使用小型真空干燥器，对粉末样品、胶体试样进行常温真空干燥，去除样品内部残留溶剂。很多光敏、油脂类、微量分析样品绝对不能接触油污，一旦油蒸汽进入干燥器，样品直接报废。DA15D 输出洁净真空，不会引入油相杂质，适合微量样品、高价值试样的脱气、干燥处理。

4.3 小型负压吸附与夹持

精密检测、光学实验里，小型真空吸盘、真空载台需要持续稳定负压，固定薄片样品、玻璃基板。DA15D 持续提供稳定负压，无油排气不会污染光学镜片、基板表面，不会在工件表面留下油膜痕迹，保障样品表面洁净，适配显微观测、薄膜样品制备场景。

4.4 气体采样与废气抽取

环境监测实验中，抽取气体样品、输送低腐蚀性混合气体，干式膜片泵不会被油液污染气路，采集到的气体组分不会被真空油干扰，保障气体检测数据真实可靠。抽出废气直接排出，不存在油液被废气腐蚀变质的问题，降低维护工作量。

4.5 配套小型理化设备

可以配套旋转蒸发仪、固相萃取装置等小型前处理设备。很多小型旋蒸配套真空泵选用干式膜片泵，就是看中无油、维护简单的优势。对于不需要超高真空，只需要中等负压的旋蒸应用场景，DA15D 可以稳定维持腔体负压，方便低沸点溶剂的蒸发分离。

五、操作使用说明

5.1 使用前准备

设备为 100V 电压版本，使用时需要配套合适变压器，将国内 220V 市电转换至 100V，严禁直接接入 220V 电源，避免烧毁电机。在进气管路前端，建议加装缓冲瓶与过滤装置，防止液体、固体颗粒被吸入泵腔，颗粒会划伤膜片，液体加速膜片老化。确认管路连接密封，管路接头卡紧，检查管路无裂纹漏气，关闭真空腔体阀门，准备开机。

5.2 运行操作

确认供电正常后，打开电源开关，真空泵启动，泵头开始抽吸，腔体压力逐步下降。观察真空腔体压力表，到达目标负压后，可以维持连续运行。在实验结束后，不能直接关机，需要先打开放气阀，解除真空腔负压，等腔体内恢复常压之后，再关闭真空泵电源。如果直接停机，腔体内负压会将介质反向吸入泵头，造成损坏。设备运行期间留意噪声变化，如果出现异常尖锐声响，及时停机排查管路与泵头状态。

5.3 使用后收尾

实验结束，断电之后，检查前置缓冲瓶，倒掉收集的液体，清理管路内部残留水汽。将泵放置在干燥通风环境存放，不要在潮湿环境长期放置。如果长时间不使用，断开变压器电源，拆下管路，将进气口使用密封堵头封闭，防止灰尘进入泵腔内部。

六、维护保养与注意事项

ULVAC DA15D 干式膜片真空泵之一就是维护简单，不需要定期更换真空油，省去油泵换油、油过滤芯维护等繁琐工作，但这不代表设备不需要保养，核心耗材是膜片与阀片，存在自然老化周期。

日常使用最关键的防护手段，就是在进气侧设置前置防护装置。固体粉尘、大量水汽、强腐蚀性气体，是膜片最大的杀手。粉尘颗粒进入泵腔，会持续磨损膜片，造成膜片出现微孔，真空性能下降；大量水汽长期接触膜片，会加速橡胶老化，缩短耗材寿命；酸性、强腐蚀气体，会腐蚀膜片材质，造成泵快速失效。所以针对这类工况，必须配套冷阱、缓冲瓶、滤膜过滤器，保护泵头。

日常巡检可以留意运行噪音与真空能力。如果发现同样工况下，能达到的极限负压明显下降，或者运行噪音变大，大概率是膜片或者阀片老化，只需要单独采购原厂耗材套件，拆开泵头更换膜片与阀片，设备即可恢复性能，维修成本远低于整机更换。维修时尽量选用爱发科原厂配件，第三方替代膜片材质耐疲劳性能不足，使用寿命短，容易出现漏气问题。

设备运行过程中，不要遮挡机身散热孔，散热风道堵塞会造成电机过热，长期高温运行会加速内部零件老化。放置环境保持通风，环境温度不宜过高。设备内部电机不需要额外加注润滑脂，不要自行向泵腔滴入润滑油，一旦加油，就失去干式泵洁净特性，还会造成阀片粘连故障。

在安全层面，需要注意该泵不适合抽取易燃易爆气体、高浓度强腐蚀性气体。这类特殊气体场景，需要选用专门防腐防爆泵型，DA15D 适用于常规空气、普通水蒸气、弱挥发溶剂气体，选型阶段就要确认介质适配性，避免安全事故。

七、产品价值总结

真空是理化实验、精密样品处理环节基础条件，真空设备的选择，直接决定样品质量、实验数据可靠性，以及长期运维投入。传统油式真空泵虽然真空度高，但油污染、频繁换油维护、倒吸损坏风险，一直是很多实验室的痛点。ULVAC 爱发科 DA15D 100V 膜片干式真空泵，以无油干式抽气方案，解决油雾返流污染样品这个核心难题，在中小负压需求场景，提供稳定、洁净的真空来源。

它结构简洁，上手门槛低，整机体积小巧，适配实验台摆放；耗材少，日常维护工作量大幅降低，不用反复采购真空油，长期使用可以节省不少运维时间与物料成本。100V 日系标准电压版本，和众多进口日本理化设备配套，是很多日系实验室仪器配套的原生泵型。

从环境监测、化学分析样品前处理，到材料样品干燥脱气、小型精密载台负压吸附，DA15D 在各类不需要超高真空的场景下都有稳定表现。它不是为超高真空设计，而是聚焦洁净、便捷、低维护的中小型真空需求，精准这类细分场景的设备空白。对于重视样品洁净度、希望简化设备维护工作的科研机构与企业实验室，这款爱发科膜片干式真空泵，是经过市场长期验证，可靠性出众的进口真空基础设备。在国内大量实验室长期使用案例证明，在正确做好前置防护的前提下，DA15D 可以保持长时间稳定运行，满足日常实验的真空使用需求。