日本technomu高精度非接触式平面度测量装置

日本technomu高精度非接触式平面度测量装置 TFL2100 特点介绍

使用激光位移传感器，在旋转工件的同时，以非接触方式高精度测量工件表面高度方向的位移量，并使用专用软件以2D和3D方式显示数据进行分析。

被测量的物体可以从薄到厚，从轻到重。

日本technomu高精度非接触式平面度测量装置 TFL2100 规格参数

・ 以低成本实现高精度测量 

 ・ 快速数据采集 

 ・ 由于是非接触式，因此无需担心损坏测试对象。 

 ・ 被测物体的影响很小 

 ・ 能够测量重物 

 ・ 底座采用石质平台，旋转轴采用气动主轴，实现惊人的表面跳动精度。 

 ・ 照片中的设备外径为800Φ，可承载重达200kg的工件。 

 ・ 我们将根据工件制作测量台等（请咨询我们）。 

  ・ 测量面积：2英寸至12英寸以上 

  ・ 测量方式：旋转扫描法 

  ・ 可用的激光位移计：三角测量、共焦、光谱干涉激光、多激光同轴 

  ・ 分辨率：~0.001μm（最大） 

规格10mm±1mm三角测距式半导体激光器650nm可见光CLAS10.3mW0.01μm（注1）±45mmX=380mm（MAX）Y=400 mm（MAX）2μm/STEP100mm/SEC10μm以内±2μm以内5μm以内360°0.0036/STEP10rpm（测定速度）φ600（可搭载工件φ800）200Kg10μm以内5μm以下（φ600圆周上）PC/AT兼容机5相微步进驱动器USB1.1/2.0约W433 H140×D255 7Kg以下5000数据/转速20（MAX）PC软件平面度测量专用程序