日本technomu平面度测量机XY轴门型非接触式

日本technomu平面度测量机XY轴门型非接触式 TFL3100 特点介绍

使用激光位移传感器，固定工件，

在移动传感器的同时，以非接触方式高精度测量工件表面高度方向的位移量，并使用专用软件计算平面度。

待测量的物体范围从晶圆到磨削的金属产品或透明玻璃。

这是自动判定作品合格与否的检查机。

・ 以低成本实现高精度测量 

 ・ 高速XY平台，数据采集速度快 

 ・ 由于是非接触式，因此无需担心损坏测试对象。 

 ・ 被测物体的影响很小 

 ・ 可以测量从晶圆到研磨金属产品或透明玻璃的任何物体 

 ・ 采用石质平台作为底座，可实现长期稳定的测量。 

 ・ 多种测量模式快速测量 

 ・ 通过登记工件的判断基准值，可以自动判断OK或NG。 

 ・ 我们将根据工件制作测量台等（请咨询我们）。 

  ・ 测量面积：200×200mm、300×300mm、其他按要求 

  ・ 测量方式：XY扫描法 

  ・ 可用的激光位移计：三角测量、共焦、光谱干涉激光、多激光同轴 

  ・ 分辨率：~0.001μm（最大） 

日本technomu平面度测量机XY轴门型非接触式 TFL3100 规格参数

尺寸20mm±3mm三角测距式激光器半导体激光波长650nm可见光CLAS3R输出4.8mW0.02μm（注1）±20mmX=320mm（M）AX）Y=320mm（MAX）1μm/0.1mm/1.0mm/STEP（可选）30mm/SEC30μm以内±1μm以内5μm以内约W600×H350×D600 140Kg以下PC/AT兼容机5相微步进驱动器USB1.1/2.0约W388×H140×D205 7Kg以下支持OS Windows 7（32位）的外形、重量XY自动载物台部项