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日本technomu平面度测量机XY轴门型非接触式

日本technomu平面度测量机XY轴门型非接触式 TFL3100

使用激光位移传感器,固定工件,
在移动传感器的同时,以非接触方式高精度测量工件表面高度方向的位移量,并使用专用软件计算平面度。
待测量的物体范围从晶圆到磨削的金属产品或透明玻璃。
这是自动判定作品合格与否的检查机。

  • 产品型号:TFL3100
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-05-21
  • 访  问  量:103
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详细介绍

日本technomu平面度测量机XY轴门型非接触式 TFL3100 特点介绍


使用激光位移传感器,固定工件,

在移动传感器的同时,以非接触方式高精度测量工件表面高度方向的位移量,并使用专用软件计算平面度。

待测量的物体范围从晶圆到磨削的金属产品或透明玻璃。

这是自动判定作品合格与否的检查机。

・ 以低成本实现高精度测量 

 ・ 高速XY平台,数据采集速度快 

 ・ 由于是非接触式,因此无需担心损坏测试对象。 

 ・ 被测物体的影响很小 

 ・ 可以测量从晶圆到研磨金属产品或透明玻璃的任何物体 

 ・ 采用石质平台作为底座,可实现长期稳定的测量。 

 ・ 多种测量模式快速测量 

 ・ 通过登记工件的判断基准值,可以自动判断OK或NG。 

 ・ 我们将根据工件制作测量台等(请咨询我们)。 

  ・ 测量面积:200×200mm、300×300mm、其他按要求 

  ・ 测量方式:XY扫描法 

  ・ 可用的激光位移计:三角测量、共焦、光谱干涉激光、多激光同轴 

  ・ 分辨率:~0.001μm(最大) 


日本technomu平面度测量机XY轴门型非接触式 TFL3100 规格参数


尺寸20mm±3mm三角测距式激光器半导体激光波长650nm可见光CLAS3R输出4.8mW0.02μm(注1)±20mmX=320mm(M)AX)Y=320mm(MAX)1μm/0.1mm/1.0mm/STEP(可选)30mm/SEC30μm以内±1μm以内5μm以内约W600×H350×D600 140Kg以下PC/AT兼容机5相微步进驱动器USB1.1/2.0约W388×H140×D205 7Kg以下支持OS Windows 7(32位)的外形、重量XY自动载物台部项

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